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真空ポンプ

低真空から超高真空までの各種のポンプならびに関連部品を取り揃え、各種ニーズにお応えする真空ポンプをラインナップしています。

エドワーズ真空ポンプ

ロータリーポンプ、スクロールポンプ、ターボ分子ポンプ等、低真空から高真空までのエドワーズ社製真空ポンプをラインナップしております。

四重極型質量分析計

残留ガスモニタ、プロセスガスモニタ、ガス分析などお客さまの測定目的に合わせた四重極型質量分析計・ガス分析システムを取り揃えております。

真空計

ピラニ真空計からキャパシタンスゲージ、超高真空用電離真空計まで、大気圧から超高真空までを測定する各種真空計をラインナップしています。

リークディテクタ

業界最高レベルの感度、応答性、安定性で、しかも操作性を可能な限り簡便化したヘリウムリークディテクタです。各種オプションも用意しています。

配管・補助材料

ICFフランジおよびICF付接続部品類、ISO規格対応のクイックカップリングタイプ配管部品類など各種配管部品を取り揃えております。

  • 補助材料 シースヒーター

    真空容器等をベーキングするために使用される「シースヒータ」です。 (大気側で使用するためのものです)

  • 補助材料 モリペースト500

    MoO3微粒子とベース油(鉱油)を高濃度に配合したペースト状製品です。機械部品の嵌合部、摺動部、ネジ部に少量塗布するだけで摩耗、かじり、焼付きを防止します。

  • 超高真空ビューイングポート(真空部品)

    コバールガラスまたは合成サファイアを封着したものをICFフランジに溶接した10-8 Pa以下の超高真空領域まで使用可能な覗き窓です。

  • 真空スイッチ(真空部品)

    真空装置の内部が真空か、大気圧かを判定するための保護および安全回路用スイッチです。真空側が溶接構造で高真空装置でも使用可能です。

  • クイックカップリング(真空部品)

    クランプによる着脱容易なISO規格対応のセンターリングでシールする真空フランジおよび配管部品類です。呼び径10、16、25、40があります。

  • ICF付接続部品(フィッティング・アダプタ)

    超高真空装置用のICFフランジ配管接続用部品で、フイッティング、メタルアダプタ、ガラスアダプタ、φ15アダプタなどのラインアップがあります。

  • 超高真空フランジ(真空部品)

    小径から大口径、回転フランジ、変換フランジ等、各種の超高真空装置用のICFフランジを揃えています。別売りの専用の銅ガスケットでシールします。

バルブ

超高真空用のオールメタルバルブ、ポリィミドバルブ、L型バルブ、アイソレ-トバルブ、バリアブルリークバルブなど各種取り揃えております。

導入機

超高真空用の回転導入機、直線導入機、セラミック封入の電流端子を高電圧、大電流導入用、小電流導入用など各種取り揃えています。

  • 電流端子(真空部品)

    セラミック封止の端子をICFフランジに溶接した電流導入端子です。超高真空装置や熱的負荷の大きい装置で使用されます。

  • 直線導入機(真空部品)

    真空中の機器の直線運動の導入に用い、圧力が10-8 Pa以下の超高真空領域まで使用できる直線導入機です。

  • 回転導入機 磁気結合型・ベローズ式

    真空中の機器の回転運動の導入に用い、圧力が10-8 Pa以下の超真空領域まで使用できる回転導入機です。磁気結合型とベローズ式があります。

X線源

安定した出力で高解像度・高速撮影を可能にする透過密閉型X線管を搭載したマイクロフォーカスX線源です。