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キヤノンアネルバが提供するコンポーネントは、真空技術を扱う装置に必要不可欠な部品、機器として、薄膜製造をはじめとする多くの製造会社・研究開発機関のお客様に採用されています。
キヤノンアネルバの真空技術が装置・計測機器の安定稼動に寄与しています。


キヤノンアネルバは 広範囲なリーク量を測定するヘリウムリークディテクタ"ヘレンシリーズ"を製造販売します。
ヘレンシリーズのもれ量測定範囲は、10E-2~10E-13Pa・m3/sです。
ヘレンシリーズは、真空吹付け法、フード法、ボンビング法、スニファー法による測定が可能なヘリウムリークディテクタです。
また、リーク量を高い再現性と早い反応性で測定を行うリークディテクタです。
電子部品、コンピューター用部品、自動車用部品、エアコン用部品など、様々な部品のリークテストにご使用いただいております。


リークテストとヘリウムガス

・ヘリウムガスは大気中に5ppmしか存在せず、他のガスと区別しやすく、リーク検査に
適している。
・ヘリウムガスの分子径は2.18Aと最小の気体で、リーク検査に適している。
・ヘリウムガスは不活性で、吸着しにくく、無害であり、リーク検査に適している。



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