コールドカソードゲージ M-370CG（真空計）
コールドカソードゲージ M-370CG
熱フィラメントを使用しておらず堅牢なコールドカソードゲージ(冷陰極電離真空計)です。
高真空から超高真空まで安定した圧力測定を実現します。
特長
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優れた測定安定性
未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを削減 -
高真空下での良好な機動性
未放電、放電遅れを解消 -
簡易なメンテナンス
・メンテナンスは部品交換のみ
※水素や酸素といった活性ガスの分圧が高い環境や、これらのガスを大量に使用する環境では、CCゲージの放電開始が著しく遅れる場合があります。そのような環境でご使用になる場合は、弊社にご相談ください。
用途
1Pa～超高真空まで、各種真空測定に幅広く対応
・蒸着、スパッタリング、イオン注入、MBE
・SEM、SIMS、AES、XPS、各種表面/ガス/質量分析
・アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接
・加速器、サイクロトロン
仕様
| 型 名 | コールドカソードゲージ | |
|---|---|---|
| M-370CG-SP セットポイント付タイプ |
M-370CG-RS RS485タイプ |
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| 圧力測定範囲 | 1×10-7～1×100（Pa） | |
| 入力電圧 | DC+15～30V | |
| 消費電力 | 2.4W | |
| アナログ出力 | 0～10V | － |
| セットポイント | 2接点出力（DC30V,1A） | |
| インターフェース | － | RS485 |
| 入出力コネクタ | D‐sub9ピン ※変換コネクターあり | |
| 最大ケーブル長 | 300m（1mm2）＊1 | |
| 使用温度範囲 | 5～55℃ | |
| 保存温度範囲 | -20～70℃（非動作時） | |
| センサ－型名 | CC1 | |
| センサー材質（主要部） | 電極：Mo、絶縁石：Al2O2、ケース：SUS304 | |
| 外形寸法（mm） | 50(W)×50(D)×110(L)（継ぎ手 NW25仕様） | |
| フランジ形状 | NW25、NW40、φ70ICF | |
| 対応 | CEマーキング、RoHS、IP40 | |
＊1）M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100ｍとなります。
外形寸法図
PDF:1.24MB