コールドカソードゲージ M-370CG(真空計)
コールドカソードゲージ M-370CG
熱フィラメントを使用しておらず堅牢なコールドカソードゲージ(冷陰極電離真空計)です。
高真空から超高真空まで安定した圧力測定を実現します。



特長
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優れた測定安定性
未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを削減 -
高真空下での良好な機動性
未放電、放電遅れを解消 -
簡易なメンテナンス
・メンテナンスは部品交換のみ
※水素や酸素といった活性ガスの分圧が高い環境や、これらのガスを大量に使用する環境では、CCゲージの放電開始が著しく遅れる場合があります。そのような環境でご使用になる場合は、弊社にご相談ください。
用途
1Pa~超高真空まで、各種真空測定に幅広く対応
・蒸着、スパッタリング、イオン注入、MBE
・SEM、SIMS、AES、XPS、各種表面/ガス/質量分析
・アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接
・加速器、サイクロトロン
仕様
型 名 | コールドカソードゲージ | |
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M-370CG-SP セットポイント付タイプ |
M-370CG-RS RS485タイプ |
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圧力測定範囲 | 1×10-7~1×100(Pa) | |
入力電圧 | DC+15~30V | |
消費電力 | 2.4W | |
アナログ出力 | 0~10V | - |
セットポイント | 2接点出力(DC30V,1A) | |
インターフェース | - | RS485 |
入出力コネクタ | D‐sub9ピン ※変換コネクターあり | |
最大ケーブル長 | 300m(1mm2)*1 | |
使用温度範囲 | 5~55℃ | |
保存温度範囲 | -20~70℃(非動作時) | |
センサ-型名 | CC1 | |
センサー材質(主要部) | 電極:Mo、絶縁石:Al2O2、ケース:SUS304 | |
外形寸法(mm) | 50(W)×50(D)×110(L)(継ぎ手 NW25仕様) | |
フランジ形状 | NW25、NW40、φ70ICF | |
対応 | CEマーキング、RoHS、IP40 |
*1)M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100mとなります。