バッチ/ロードロック式装置

真空中で薄膜を形成、加工する技術は、さまざまなデバイス製造工程に利用されています。
キヤノンアネルバは、製造ラインに用いられる信頼性の高いバッチ/ロードロック式のスパッタリング装置、蒸着装置を開発・製造しています。