クラスター式装置

真空中で薄膜を形成、加工する技術は、さまざまなデバイス製造工程に利用されています。
キヤノンアネルバは、製造ラインに用いられる信頼性のクラスター式のスパッタリング装置、エッチング装置、接合装置、アニール装置を開発・製造しています。