インライン式装置
真空中で薄膜を形成、加工する技術は、さまざまなデバイス製造工程に利用されています。
キヤノンアネルバは、製造ラインに用いられる信頼性のインライン式のスパッタリング装置を開発・製造しています。
真空中で薄膜を形成、加工する技術は、さまざまなデバイス製造工程に利用されています。
キヤノンアネルバは、製造ラインに用いられる信頼性のインライン式のスパッタリング装置を開発・製造しています。