半導体デバイス製造装置

半導体は今やあらゆる製品に利用され、情報化社会に欠かすことのできない基本デバイスとなっています。
キヤノンアネルバは、半導体製造ラインに用いられる信頼性の高いスパッタリング装置を開発・製造しています。
高集積化を支えるナノレベル領域において、スパッタリングによる成膜工程は大変重要な役割を担っています。