製品安全情報
製品安全情報
弊社製品に関わる製品安全情報を掲載しております。
ご不明な点に関しましては、最寄りの営業・サ－ビス拠点までお問い合わせくださいますようお願い申し上げます。
| 番号 | 件名 | 発行日 |
|---|---|---|
| 40 |
弊社製スパッタ装置におけるターゲットライフ管理のお願い |
2021年2月1日 |
| 39 |
真空計表示器M-603GCのパラメータ初期値設定に関するお願い [添付資料]真空計表示器M-603GC 3chコントローラーのパラメータ初期値設定実施後の追加設定方法 |
2019年1月17日 |
| 38 | I-1060SVⅡ PLUS1 CRYOコンプレッサー用 ブレーカ交換のお勧め | 2017年9月14日 |
| 37 | [再掲示]薄膜形成装置における金属薄膜付着部品の取り扱いに関する注意のお願い | 2016年10月14日 |
| 36 | 弊社製品に同梱されている電源コードセットの電気用品安全法(PSE)対応について | 2015年11月12日 |
| 35 | V-025SV シリーズ アイソレイトバルブ使用状態確認のお勧め | 2015年6月30日 |
| 34 | EGP-230 電子銃制御装置ご使用上の注意に関して | 2015年6月30日 |
| 33 | [再掲示]電気・電子部品に関する定期点検のおすすめ | 2015年5月20日 |
| 32 | [再掲示]真空測定ゲージ球接続ケーブル点検および更新のお勧め | 2015年4月8日 |
| 31 | 真空測定ゲージ球接続ケーブル点検および更新のお勧め | 2014年11月21日 |
| 番号 | 件名 | 発行日 |
|---|---|---|
| 30 | [問合せ先変更]300シリーズスパッタ装置タイミングベルトの点検及び交換に関するお知らせ | >2014年9月18日 |
| 29 | XPR2/XPR3用 Windows7対応ソフトウエア FabGuard Explorerのご案内 | 2014年6月27日 |
| 28 | L-201D(-L)エッチング装置エッチング電極部メンテナンスのお勧め | 2014年5月30日 |
| 27 | AE社製DC電源(MDX-2.5K)更新のお勧め | 2014年5月30日 |
| 26 | I-1080/I-1201/I-1230スパッタ装置シャッター用モーターおよびドライバー更新のお願い | 2014年4月30日 |
| 25 | 装置組込用サーモカップル真空計(MTG-1013)更新のお勧め | 2014年4月25日 |
| 24 | クライオポンプ コンプレッサユニット(CRC-874/P-875CA/P-876CA)用アドゾーバ変更のお知らせ | 2014年4月25日 |
| 23 | A-210M-LD／220M-LD／221M-LD／230M-LD ヘリウムリ－クディテクタ更新のお願い | 2014年2月27日 |
| 22 | CRC-873クライオコンプレッサー更新のお願い | 2014年2月27日 |
| 21 | マスフィルタのWindows 7への対応についてのお知らせ | 2014年2月13日 |
| 番号 | 件名 | 発行日 |
|---|---|---|
| 20 | 基板ホルダーやカソード周辺のねじ締め式ケーブルコネクタ類定期増し締めのお願い | 2013年8月22日 |
| 19 | クライオポンプ使用上の注意事項 | 2013年7月24日 |
| 18 | ストレートタイプHNコネクタ付きRFケーブル取扱い時の注意点、および取外し時コネクタに異常がある場合の処置について | 2012年5月14日 |
| 17 | 押締端子台をご使用のお客様にご注意とお願いのお知らせ | 2011年11月10日 |
| 16 | 300シリーズスパッタ装置タイミングベルトの点検及び交換に関するお知らせ | 2011年9月20日 |
| 15 | （欠番） | |
| 14 | 電気・電子部品に関する定期点検のおすすめ | 2010年10月15日 |
| 13 | 薄膜形成装置における金属薄膜付着部品の取り扱いに関する注意のお願い | 2010年8月21日 |
| 12 | クライオコンプレッサ ヘリウムガス充填作業時の注意 | 2010年7月20日 |
| 11 | Φ7.1RMカソード搭載装置ターゲット交換におけるお知らせ | 2010年1月26日 |
| 番号 | 件名 | 発行日 |
|---|---|---|
| 10 | I-1000シリーズターゲット積算電力パルス出力に関するご注意と監視ソフトのご案内 | 2008年12月5日 |
| 9 | 薄膜形成装置における金属薄膜付着部品の取り扱いに関する注意のお願い | 2008年11月10日 |
| 8 | SPF（L）-312,313,332スパッタ装置 蓋開閉用タイミングベルトの点検及び交換に関するお知らせと定期点検項目追加のお願い |
2008年6月5日 |
| 7 | 電離真空計保守交換時の作業注意に関するお願い | 2007年5月15日 |
| 6 | （欠番） | |
| 5 | カソードマグネットに希土類マグネット（Sm-Co）を使用している装置に関する 運用上の注意事項のお知らせ |
2005年1月14日 |
| 4 | 産業用ロボットに関するご案内 | 2003年9月8日 |
| 3 | Ｉ－１０００シリーズTarget固定ボルトの管理のご案内 | 2003年2月18日 |
| 2 | 三菱電機株式会社製 MELSEC-GOT900シリーズにおけるバックライト不具合の対策について | 2002年1月28日 |
| 1 | 内蔵バッテリ－を有するユニット類のバッテリ－定期交換に関するお知らせ | 2000年10月27日 |