半導体・電子部品製造装置シリーズ「Adastra」が「第55回 機械工業デザイン賞 IDEA」で最優秀賞(経済産業大臣賞)を受賞しました
キヤノンアネルバ株式会社
キヤノンアネルバ株式会社 (社長:中島卓実) の半導体・電子部品製造装置シリーズ「Adastra」(2024年10月発売)が、日刊工業新聞社が主催する「第55回 機械工業デザイン賞 IDEA」において、最優秀賞である「経済産業大臣賞」を受賞しました。
最優秀賞(経済産業大臣賞)
● 受賞者:キヤノンアネルバ株式会社
● 受賞製品:Adastra


Adastra
(半導体・電子部品製造装置シリーズ)

装置の稼働状況を表すモニターでは
色彩やアニメーションを活用
「Adastra」は、半導体デバイス・電子部品の配線層や機能膜などを形成する工程において、市場からのさまざまなニーズに対応した半導体・電子部品製造装置シリーズです。幅広い成膜処理技術を一つのプラットフォームに集約し、製造するデバイスやお客さまの生産規模に応じて、必要な工程の処理室を自由に組み合わせることができ、近年多工程化が進む半導体製造ラインの多様なニーズへ柔軟に対応します。
本製品は、八角形の搬送室の周囲に五角形の処理室を配置したデッドスペースのない装置構成や造形の工夫により、従来機から設置面積約42%減※の省スペース化を実現し、面積生産性の向上を実現しています。さらに、処理室の鋭利な構造部をカバーで覆うことで安全性に配慮するとともに、人間工学に基づいた設計によりメンテナンス作業時の身体的負荷の軽減を図り、操作性の向上にも貢献しています。加えて、装置モニターのUI(ユーザーインターフェース)においても、色彩やアニメーションを効果的に活用し、ユーザビリティの向上を追求するなど、製品の細部に至るまで精度の高いデザインを実現しています。なお、本製品は、「2024年度グッドデザイン賞」(日本)金賞のほか、国際的に権威のある「iFデザインアワード2025」(ドイツ)でも最高位の金賞を受賞するなど、デザインが国内外で高い評価を受けています。
キヤノンアネルバは本受賞を糧として、これからも長年培った超高真空の技術を礎に、お客さまにとって価値の高い真空薄膜製造装置や真空コンポーネント製品を提供し、豊かな社会生活に貢献できるよう努めてまいります。
〈「機械工業デザイン賞 IDEA」とは〉
日刊工業新聞社が主催し、日本の工業製品におけるデザインの振興と発展を目的に1970年に創設されました。製品の機能や外観だけではなく、市場性や社会性、安全性など、さまざまな面から総合的な審査が行われるデザイン賞です。審査委員会は関係省庁や大学、各工業団体の専門家などで構成され、今年で55回目を迎えます。
※ 従来機「NC7900」(2013年12月4日発売)の設置面積約22.6m2と、本製品の設置面積約13.2m2比較(いずれも処理室が6室の構成における値)。