真空計
ピラニ真空計からキャパシタンスゲージ、超高真空用電離真空計まで、大気圧から超高真空までを測定する各種真空計をラインナップしています。
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熱フィラメントを使用していないため、未放電による測定停止・圧力表示値のフラツキを低減し、安定した圧力測定を実現する冷陰極型電離真空計です。
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ピラニ真空計と冷陰極型電離真空計のコンビネーションゲージです。大気圧から超高真空までの広い圧力領域を1台で測定可能です。
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外部環境からの影響を最小限に抑え、高精度で安定した圧力測定、最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。
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ヌ－ドイオンゲ－ジ、ガラスゲージ球、サーモカップルゲージ球など各種真空計の測定球を取り揃えています。
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金属製のB-A型電離真空計ゲージ球です。到達圧力からスパッタ等のプロセス圧力 (1 Pa台が測定可) までを1つのゲージで測定可能です。
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B-Aゲージ球、ワイドレンジB-Aゲージ球、ヌ－ドイオンゲ－ジの各ゲージ球用コントロールユニットで、オプションボードで機能拡張が可能です。
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ミニチュアB-Aゲージ用のコントロールユニットで、外部入出力を標準装備、オプションボードで機能拡張が可能モデルです。
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ミニチュアB-Aゲージ用のコントロールユニットで、外部入出力、RS-232C通信機能を標準装備しています。
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水晶振動子の共振インピーダンスの変化が圧力で変化することを利用した真空計で、大気圧から10-2 Paまでの広い圧力範囲の測定が可能です。
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トランスデューサ型真空計シリーズ用の表示器です。各種ゲージを自動認識し、1ch表示と3ch表示タイプの2モデルがあります。
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クリスタルゲージと熱陰極型電離真空計のコンビネーションゲージです。大気圧から超高真空までの広い圧力領域を1台で測定可能です。
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再現性、リニアリティーがよく、10 Paから10-7 Paの広範囲な圧力測定が可能な熱陰極型電離真空計です。
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Niフィラメントを採用し、耐蝕性を向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したピラニ真空計です。
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大気圧から測定できる手軽さと高いコストパフォーマンスを持つ、軽量・コンパクトな低～中真空領域の測定用ピラニ真空計です。
X線源
安定した出力で高解像度・高速撮影を可能にする透過密閉型X線管を搭載したマイクロフォーカスX線源です。
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ダイヤモンド窓透過ターゲットの採用により 2 μm解像度 (at 6 W) を実現し、高解像で高速撮影を可能にする工業用非破壊検査向けX線源です。
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ダイヤモンド窓透過ターゲットの採用により 4 μm解像度 (at 10 W) を実現し、高解像で高速撮影を可能にする工業用非破壊検査向けX線源です。
リークディテクタ
業界最高レベルの感度、応答性、安定性で、しかも操作性を可能な限り簡便化したヘリウムリークディテクタです。各種オプションも用意しています。
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HELENシリーズは、小型、軽量、可搬性をコンセプトに開発したポータブルタイプのヘリウムリークディテクタです。
四重極型質量分析計
残留ガスモニタ、プロセスガスモニタ、ガス分析などお客さまの測定目的に合わせた四重極型質量分析計・ガス分析システムを取り揃えております。
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高感度・高機能で低ガス放出を実現したPC制御専用の四重極型質量分析計です。真空装置の残留ガスモニタに最適な低価格モデルも用意しています。
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質量数1 ～ 410 m/zまで測定が可能な四重極型質量分析計で、高速測定モデル、高感度測定モデルをラインナップする四重極...
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10-9 Pa～2 Paの広範囲の圧力領域で動作可能で、到達圧力からスパッタリングプロセス圧力までをシームレスに測定可能です。
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四重極質量分析計と排気ユニットを組み合わせ、独自のガス導入系を用いたガス分析システムです。お客様のご要望・測定用途に適したガス分析システムをご提供いたします。
真空ポンプ
低真空から超高真空までの各種のポンプならびに関連部品を取り揃え、各種ニーズにお応えする真空ポンプをラインナップしています。
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クライオポンプは排気速度が大きく、クリーンな真空を得られるなど優れた高真空用ポンプです。
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イオンポンプ、ノーブルポンプは磁場中で冷陰極放電を起こす事で排気を行う完全オイルフリーの超高真空用ポンプです。
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ロータリーポンプ、スクロールポンプ、ターボ分子ポンプ等、低真空から高真空までの真空ポンプをラインナップしております。
真空部品
掲載の無い製品についてはお問合せください。
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10-8 Pa程度の超高真空領域まで使用できるL型バルブです。真空シールにポリイミド樹脂を使用し、300 ℃までのベーキングが可能です。
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調節可能最少リーク量が6.7×10-9 Pa・m3/s以下と微少流量領域からのガス導入が可能なバルブです。
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カットバルブとベントバルブの機能を兼ね備えた自動バルブです。圧縮空気および配管は不要でポンプの真空力を利用しての油の逆流防止します。
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真空装置の内部が真空か、大気圧かを判定するための保護および安全回路用スイッチです。真空側が溶接構造で高真空装置でも使用可能です。
