| お客様各位 | 件名 | 文書番号 | Ve9210-00258 |
| 電離真空計 保守交換時の作業注意に関するお願い |
発 行 日 | 2007年5月15日 | |
| キヤノンアネルバ株式会社 お客様事業本部 FS事業部 FS支援部 テクニカルサポートG |
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拝啓 貴社益々ご隆昌の事とお慶び申し上げます。 《電離真空計保守交換時の注意事項》
保守等で真空計を交換された場合は、次の手順で動作確認をお願いします。
１）取り付け後、真空計の出力が装置側（シーケンサ等）に入力されていることを確認して下さい。
２）真空計の真空度表示と装置側タッチパネルの真空度表示が著しく異なっていない事を確認して下さい。
（注）真空計の真空度表示と装置側タッチパネルの真空度表示が、乗数一桁違っている場合は、最寄の弊社サービスまでお問合せ願います。
３）自動成膜装置では、オートプロセスにても動作確認願います。
宜しくご査収の程お願い申し上げます。 敬具
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| 対応する項目を■印で選択 | |||
| 対象製品 | 電離真空計：MIG-820(D/Aボードオプション品)/920 MIG-721/821/921/831 M-722HG/822HG/922HG/832HG |
□詳細別紙 | |
| 発行理由 | ■ 品質・安全等に関する最新情報の提供 □ 既納製品の改良が期待出来る最新技術の提供 |
□詳細別紙 | |
| 処置内容 | ここでは、上記電離真空計の保守部品交換時の作業注意に関するお知らせのみとさせていただきます。 ご不明な点がございましたら、最寄の弊社サービスまでお問い合わせ願います。 |
□詳細別紙 | |
| 価格・納期 作業時間 |
- | □詳細別紙 | |
| スケジュール | - | □詳細別紙 | |
| 備考 | － | □詳細別紙 | |
ご不明な点は下記へお問い合わせ下さい。
