薄膜形成装置における金属薄膜付着部品の取り扱いに関する注意のお願い

 拝啓  貴社益々ご隆昌の事とお慶び申し上げます。又平素は格別のご愛顧を賜り、厚く御礼申し上 げます。

さて、薄膜形成装置ご使用のお客様に金属薄膜付着部品の取り扱いについてお知らせがございます。
スパッタ装置や蒸着装置等の薄膜形成装置において、内部治具やシールド類に付着した特定の金属薄膜は、その表面に衝撃を加えたり機械的に摩擦したりすることにより発火する場合があります。特にチャンバー内を大気開放した直後や剥離して新たに露出した金属薄膜の表面は活性な状態であるため、発火し易い場合があります。金属膜であれば発生の可能性のある現象ですが、特に高融点金属（Ti、W、Mo、Ta等）およびこれらのシリサイド、マグネシウム、ランタン、ジルコニウム、ハフニウム、白金と他の金属の混合膜などでは非常に発生しやすいといわれています。
発火のし易さや規模は膜材料や成膜条件、膜表面状態や温度などによって異なります。
発火した場合には作業者の火傷や火災に至る恐れがあります。これらの金属薄膜が付着した部品の取り扱いは別紙「金属薄膜付着部品の取り扱い」に示すとおりご注意いただきますようお願い申し上げます。

弊社では、今後共貴社のご要望にお応え出来ます様に、更に努力して参ります所存でございま
すので、より一層のご指導ご鞭撻を賜ります様お願い申し上げます。

敬具

スパッタ装置、蒸着装置等の薄膜形成装置で、高融点金属およびこれらのシリサイド、マグネシウム、ランタン、ジルコニウム、ハフニウム、白金と他の金属の混合膜等を成膜された結果、膜が付着した部品

■ 人身、火災事故等の安全に関する対策

□ お客様の製品及び資産に損害を与える可能性が高い案件の対策

□ 製品の安全性、信頼性向上の為の対策

金属薄膜付着部品の取り扱いは
別紙に示すとおりご注意ください。