| お客様各位 | 件名 | 文書番号 | Ve情提0860-00003 | ||||||
| I-1000シリーズターゲット積算電力パルス出力に関するご注意と監視ソフトのご案内 | 発 行 日 | 2008年12月5日 | |||||||
| キヤノンアネルバ株式会社 品質保証本部 |
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拝啓 貴社益々ご盛栄の事とお慶び申し上げます。又平素は格別のご愛顧を賜り、厚く御礼申し上げます。 さて弊社製スパッタリング装置I-1000シリーズにおきましては、ご承知のように、ディスプレイ上のターゲットライフ画面に表示のターゲット積算値をもとに、ターゲットライフ管理を実施して頂いております。 しかし、何らかの原因でターゲット積算値がカウントアップしなくなった場合(*)、最悪のケースではターゲットバッキングプレートまでスパッタしてしまう恐れがあります。 このような事を未然に防ぐためにも、日常のターゲットライフ管理ではターゲット積算値が確実にカウントアップされている事をご確認頂きます様、お願い申し上げます。 尚、弊社では本件に関する問題を未然に防ぐ為の積算電力パルス出力を監視するインターロックソフトをご用意しております。ご希望のお客様に関しましては別途弊社営業、又はフィールドサービスよりご案内しますので宜しくお願い致します。 弊社では今後共製品の信頼性向上に努めていく所存でございますので、変わらぬご愛顧の程お願い申し上げます。 敬具
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| 対象製品 | I-1012、I-1013、I-1015、I-1051、I-1060、I-1080、I-1201 スパッタリング装置 | □詳細別紙 | |||||||
| 発行理由 | ■ 品質・安全等に関する最新情報の提供 □ 既納製品の改良が期待出来る最新技術の提供 |
□詳細別紙 | |||||||
| 処置内容 | 【推奨内容】 ターゲットライフ画面上「ターゲット積算値」の日常点検と管理をお願い致します。 【インターロックソフト内容】 スパッタ電源からの積算電力を監視し、パルスが出力されなくなった場合、次ロットの処理スタートを停止・警告するものです。 ご希望のお客様に関しましては、日程調整のうえソフトリリースを実施致します。 |
□詳細別紙 | |||||||
| 価格・納期 作業時間 |
インターロックソフト御用命の場合：
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□詳細別紙 | |||||||
| スケジュール | ソフトリリースの際は、弊社営業もしくはフィールドサービスよりご案内致します。 | □詳細別紙 | |||||||
| 備考 | このソフトリリースの場合、生産を停止して戴く必要が御座いますので、予めご了承下さい。（排気アイドリング状態保持で構いません） なお、装置によってはメモリー残量の都合等により、リリースできない場合がございます。その際には別途ご相談により対応させて頂きます。 |
□詳細別紙 | |||||||
ご不明な点は下記へお問い合わせ下さい。
