| お客様各位 | 件名 | 文書番号 | Ve0080-00624 |
| Φ7.1RMカソード搭載装置ターゲット交換におけるお知らせ | 発 行 日 | 2010年1月26日 | |
| キヤノンアネルバ株式会社 環境品質推進部 品質計画課 |
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拝啓 貴社益々ご隆昌のこととお慶び申し上げます。また平素は格別のご愛顧を賜り、厚く御礼申し上げます。
さて、Φ7.1RMカソード搭載装置でターゲット交換作業時に、ターゲット冷却水を流したままで作業を行い、プレートが膨らみターゲットが取付かない事故が発生しました。
つきましては、上記を未然防止し、装置をより安定した状態で御使用頂く為に、お客様に於かれましては、下記および別紙に記載したメンテナンスを実施いただきます様、御願い申し上げます。
弊社では、今後とも製品の信頼性向上に努めていく所存で御座いますので、変わらぬ御愛顧のほど御願い申し上げます。 敬具 |
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| 対応する項目を■印で選択 | |||
| 対象製品 | C-7201 , C-7010 , C-7600 , C-7801 , C-7802 , C-7100 , C-3010 , C-3040 | □詳細別紙 | |
| 発行理由 | ■ 品質・安全等に関する最新情報の提供 □ 既納製品の改良が期待出来る最新技術の提供 |
□詳細別紙 | |
| 処置内容 |
・ターゲットの交換作業をする時はターゲット冷却水を止めて、水追い出しを行う。 ・ターゲット（又はブランク板）を取り付けない状態で、真空引き及びターゲット冷却水を流さない。
※ターゲット交換手順と禁止事項の参考図を別紙添付致しますので 参照願います。 |
■詳細別紙(104KB) | |
| 価格・納期 作業時間 |
- | □詳細別紙 | |
| スケジュール | - | □詳細別紙 | |
| 備考 | - | □詳細別紙 | |
