イオンポンプ・ノーブルポンプ（真空ポンプ）
イオンポンプ・ノーブルポンプは、磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料（Ti）をスパッタして、活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行う超高真空ポンプです。
コンポーネント
特長
- 完全オイルフリー
油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られる - 超高真空、極超真空
イオンポンプ・ノーブルポンプは10-1 Pa ～ 10-9 Paの圧力範囲で動作しますので極高真空の作成に最適 - 無人運転
運転に必要なのは電力だけで、夜間の無人運転や遠隔操作に便利 - 不活性ガスの排気（ノーブルポンプ）
二極型イオンポンプに比べ、不活性ガスの排気速度が大きくなっています（アルゴンで空気の約21 ％）
用途
- 完全オイルフリーの超高真空及び極高真空排気系
- 電子顕微鏡、表面分析装置
- 粒子加速器、核融合実験装置、宇宙環境試験装置
- 電子管などの真空保持ポンプ
仕様
20 L/sイオンポンプ・ノーブルポンプ
| ポンプ | 名称 | 20 L/s イオンポンプ |
20 L/s ノーブルポンプ |
|---|---|---|---|
| 型名 | 912-7125 | 912-7120 | |
| 排気速度 （N2ガスに対して） |
20 L/s | ||
| 動作範囲（注1） | 10-1 ～ 10-9 Pa | 1 ～ 10-9 Pa | |
| 起動可能圧力（注1） | 1.3 Pa以下 | 6.7 Pa以下 | |
| 内容積 | 1.4 L | ||
| 最大加熱温度 | 250 ℃ | ||
| 吸入口 | φ70ICF | ||
| 電流導入端子 | 交換不可 | ||
| 素子（交換用） | 交換不可 | ||
| マグネット | 912-7121（1個）本体に含む | ||
| 質量 | 10.5 kg | ||
30 L/sイオンポンプ・ノーブルポンプ
| ポンプ | 名称 | 30 L/s イオンポンプ |
30 L/s ノーブルポンプ |
|---|---|---|---|
| 型名 | 912-7135 | 912-7130 | |
| 排気速度 （N2ガスに対して） |
30 L/s | ||
| 動作範囲（注1） | 10-1 ～ 10-9 Pa | 1 ～ 10-9 Pa | |
| 起動可能圧力（注1） | 1.3 Pa以下 | 6.7 Pa以下 | |
| 内容積 | 2.2 L | ||
| 最大加熱温度 | 250 ℃ | ||
| 吸入口 | φ114ICF | ||
| 電流導入端子 | 954-7281 | ||
| 素子（交換用） | 交換不可 | ||
| マグネット | 912-7121（1個）本体に含む | ||
| 質量 | 12.5 kg | ||
60 L/sイオンポンプ・ノーブルポンプ
| ポンプ | 名称 | 60 L/s イオンポンプ |
60 L/s ノーブルポンプ |
|---|---|---|---|
| 型名 | 912-7165 | 912-7160 | |
| 排気速度 （N2ガスに対して） |
60 L/s | ||
| 動作範囲（注1） | 10-1 ～ 10-9 Pa | 1 ～ 10-9 Pa | |
| 起動可能圧力（注1） | 1.3 Pa以下 | 6.7 Pa以下 | |
| 内容積 | 6.2 L | ||
| 最大加熱温度 | 250 ℃ | ||
| 吸入口 | φ152ICF | ||
| 電流導入端子 | 954-7281 | ||
| 素子（交換用） | 915-7027（1組） | 915-9527（1組） | |
| マグネット | 912-7121（2個）本体に含む | ||
| 質量 | 25.6 kg | ||
110 L/sノーブルポンプ・140 L/sイオンポンプ
| ポンプ | 名称 | 110 L/s ノーブルポンプ |
140 L/s イオンポンプ |
|---|---|---|---|
| 型名 | 912-7020 | 912-7010 | |
| 排気速度 （N2ガスに対して） |
110 L/s | 140 L/s | |
| 動作範囲（注1） | 1 ～ 10-9 Pa | 10-1 ～ 10-9 Pa | |
| 起動可能圧力（注1） | 6.7 Pa以下 | 1.3 Pa以下 | |
| 内容積 | 18 L | ||
| 最大加熱温度 | 250 ℃ | ||
| 吸入口 | φ203ICF | ||
| 電流導入端子 | 954-7281 | ||
| 素子（交換用） | 915-9520（1個） | 915-9510（1個） | |
| マグネット | 912-7001（1個）本体に含む | ||
| 質量 | 48 kg | ||
220 L/sノーブルポンプ
| ポンプ | 名称 | 220 L/sノーブルポンプ | |
|---|---|---|---|
| 型名 | 912-7040 | 912-7041 | |
| 排気速度 （N2ガスに対して） |
220 L/s | ||
| 動作範囲（注1） | 5×10-1 ～ 10-9 Pa | ||
| 起動可能圧力（注1） | 3.4 Pa以下 | ||
| 内容積 | 26 L | 28 L | |
| 最大加熱温度 | 250 ℃ | ||
| 吸入口 | φ203ICF | ||
| 電流導入端子 | 954-7281 | ||
| 素子（交換用） | 915-9510（2個） | ||
| マグネット | 912-7002（1個） 本体に含む |
912-7001（2個） 本体に含む |
|
| 質量 | 85 kg | 90 kg | |
270 L/sイオンポンプ
| ポンプ | 名称 | 220 L/sノーブルポンプ | |
|---|---|---|---|
| 型名 | 912-7040 | 912-7041 | |
| 排気速度 （N2ガスに対して） |
220 L/s | ||
| 動作範囲（注1） | 5×10-1 ～ 10-9 Pa | ||
| 起動可能圧力（注1） | 3.4 Pa以下 | ||
| 内容積 | 26 L | 28 L | |
| 最大加熱温度 | 250 ℃ | ||
| 吸入口 | φ203ICF | ||
| 電流導入端子 | 954-7281 | ||
| 素子（交換用） | 915-9510（2個） | ||
| マグネット | 912-7002（1個） 本体に含む |
912-7001（2個） 本体に含む |
|
| 質量 | 85 kg | 90 kg | |
400 L/sノーブルポンプ・500 L/sイオンポンプ
| ポンプ | 名称 | 400 L/s ノーブルポンプ |
500 L/s イオンポンプ |
|---|---|---|---|
| 型名 | 912-7060 | 912-7050 | |
| 排気速度 （N2ガスに対して） |
400 L/s | 500 L/s | |
| 動作範囲（注1） | 1 ～ 10-9 Pa | 10-1 ～ 10-9 Pa | |
| 起動可能圧力（注1） | 6.7 Pa以下 | 1.3 Pa以下 | |
| 内容積 | 38 L | ||
| 最大加熱温度 | 250 ℃ | ||
| 吸入口 | φ203ICF | ||
| 電流導入端子 | 954-7281 | ||
| 素子（交換用） | 915-9520（4個） | 915-9510（4個） | |
| マグネット | 912-7002（2個）本体に含む | ||
| 質量 | 120 kg | ||
800 L/sノーブルポンプ・1000 L/sイオンポンプ
| ポンプ | 名称 | 800 L/s ノーブルポンプ |
1000 L/s イオンポンプ |
||
|---|---|---|---|---|---|
| 型名 | 912-9110 | 912-7190 | 912-9100 | 912-7195 | |
| 排気速度 （N2ガスに対して） |
800 L/s | 1000 L/s | |||
| 動作範囲（注1） | 10-2 ～ 10-9 Pa | 10-3 ～ 10-9 Pa | |||
| 起動可能圧力（注1） | 1.3×10-1 Pa以下 | 1.3×10-2 Pa以下 | |||
| 内容積 | 106 L | ||||
| 最大加熱温度 | 250 ℃ | ||||
| 吸入口 | φ326CS フランジ |
φ356ICF | φ326CS フランジ |
φ356ICF | |
| 電流導入端子 | 954-7281 | ||||
| 素子（交換用） | 912-9520（8個） | 915-9510（8個） | |||
| マグネット | 912-7003（2個）本体に含む | ||||
| 質量 | 257 kg | ||||
| ポンプ | 名称 | 20 L/s イオンポンプ |
20 L/s ノーブルポンプ |
|---|---|---|---|
| 型名 | 912-7125 | 912-7120 | |
| 排気速度 （N2ガスに対して） |
20 L/s | ||
| 動作範囲（注1） | 10-1 ～ 10-9 Pa | 1 ～ 10-9 Pa | |
| 起動可能圧力（注1） | 1.3 Pa以下 | 6.7 Pa以下 | |
| 内容積 | 1.4 L | ||
| 最大加熱温度 | 250 ℃ | ||
| 吸入口 | φ70ICF | ||
| 電流導入端子 | 交換不可 | ||
| 素子（交換用） | 交換不可 | ||
| マグネット | 912-7121（1個）本体に含む | ||
| 質量 | 10.5 kg | ||
