チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ

チタンサブリメーションポンプおよびタイバックポンプは、チタンを真空中で加熱昇華させ、周囲壁面にチタン蒸着膜（ゲッター面）を作り、金属のゲッター作用を利用して、気体の吸着排気を行うゲッターポンプです。

オイルフリーの超高真空
イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現
経済的
イオンポンプ、ターボモレキュラポンプ、クライオポンプと併用しますと、排気速度、および到達圧力を著しく向上することができますから、大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極めて経済的
コンパクト設計
小型軽量で取付場所を選びません

お手持ちの真空ポンプ（イオンポンプ、クライオポンプ、ターボモレキュラポンプ等）排気系の排気時間の短縮、到達圧力の向上、排気量の増加を図りたい場合に効果的

イメージ：チタンサブリメーションポンプ/タイバックポンプ

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