小型ロータリーポンプ EM・RVシリーズ（エドワーズ社製）

エドワーズ社の直結型ロータリポンプは、排気速度15 L/minから500 L/minまでの幅広いレンジを揃えています。当社は近代的量産設備のコンピュータコントロールマシニングセンターを備え、部品製作から中間検査・組立・最終検査まで一貫したプロセスで行い、常に信頼性の高いポンプを世界各国に供給しています。

コンポーネント

特長

  1. ユニークな給油システムを採用
    加圧給油方式を採用しており、大気圧から高真空までの運転がスムーズです。特にRVシリーズは高真空はもちろんハイスループット（高い圧力）でもスムーズな連続運転を実現する為、オイル流量の調整バルブを内蔵しています。
  2. オイルの逆流防止機構
    停電などの突然の停止時にもオイルの逆流を完全に防止し、システム側を真空状態に保ちます。
  3. 低振動・低ノイズ
    精密加工と特殊給油方式により、振動・ノイズがきわめて低く、RVシリーズで48 dB（A）程度。

用途

  • 電子顕微鏡
  • 質量分析
  • 残留ガス分析
  • 真空オーブン
  • その他真空排気

仕様

  E2M0.7 E2M1.5 RV3 RV5 RV8 RV12 E2M18 E2M28/30
設計排気速度
（L/min）		 50Hz 15 30 62 97 162 236.7 341.7 537
60Hz 18.3 36.7 75 116.7 195 283.3 416.7 648
実効排気速度
（L/min）		 50Hz 12.5 26.7 55 85 141.7 200 283.3 458
60Hz 15.8 33.3 65 103.3 166.7 236.7 340 550
到達圧力（Pa） ガスバラ閉 0.3 0.15 0.2 0.2 0.2 0.2 0.1 0.1
ガスバラ開 2 2.5 3 3 3 3 1.5 1.5
最大水蒸気流入圧力（Pa） 1,500 1,500 8,000 5,000 3,800 3,200 2,000 3,000
最大処理水量（g/hr） 8 16 220 220 220 290 300 700
吸気接続 NW10 NW10 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25
排気接続 11φ 11φ NW25 NW25 NW25 NW25 15φ 15φ
標準オイル ウルトラグレード15 ウルトラグレード19
オイル量（L） 0.28 0.28 0.7 0.7 0.75 1.0 1.05 1.5
フッソ系オイル仕様の有無 無 無 有 有 有 有 有 有
電動機 出力
（kW）		 50Hz 0.09 0.16 0.45 0.45 0.45 0.45 0.55 0.75
60Hz 0.09 0.16 0.55 0.55 0.55 0.55 0.75 0.9
電圧
（V）		 単相 100-120
または
200-240		 100-120
または
200-240		 100/200 100/200 100/200 100/200 100/200 100/200
3相 - - 200-230
および
380-460		 200-230
および
380-460		 200-230
および
380-460		 200-230
および
380-460		 200-230
および
380-460		 200-230
および
380-460
質量（kg） 10 10 25 25 28 29 36 40

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