スクロールポンプ nXDSシリーズ(エドワーズ社製)

エドワーズ社のXDSスクロールポンプは特許を取得したベアリングシールドを使用。その革新的な構造により、真空環境はあらゆる潤滑油から隔離され完全にドライな状況を維持、ベアリングもあらゆるプロセスガスから保護されます。また調整式ガスバラストの採用で、従来のスクロールポンプでは実現できなかった水蒸気の処理が可能になり、アプリケーションの適用範囲が広がりました。

コンポーネント

特長

  1. クリーン排気
    排気機構に潤滑油を使用せず、清浄な真空が得られます。
  2. メンテナンス
    シンプルな構造ですので短時間で分解、組立が出来ます。また、オイルを使用していないのでクリーンなメンテナンス環境が得られます。
  3. XDS ポンプは特許ベアリングシールドを採用
    真空環境からベアリングを完全に遮断。水蒸気によるベアリンググリースの劣化を防止し、よりクリーンな真空が得られます。

用途

  • 走査型電子顕微鏡
  • 真空装置
  • 真空熱処理炉
  • 理化学実験用

仕様

  nXDS6i nXDS10i nXDS15i nXDS20i
実効排気速度(L/min)50/60Hz 103 190 252 367
到達圧力(Pa) 2 0.7 0.7 3
吸気接続 NW25 NW25 NW25 NW25
排気接続 NW25 NW25 NW25 NW25
最大許容水蒸気圧(Pa) 3,500 3,500 3,500 2,000
最大水蒸気処理量(g/h)  110 145 280 220
供給電圧(V)50/60Hz  単相 100 ~ 127 / 200 ~ 240
モータ出力(W) 260 280 300 260
ガスバラスト 有り(0、Ⅰ、Ⅱ切替)
使用温度範囲(℃)  5~40
質量(kg) 26.2 25.8 25.2 26.6
  XDS35i
設計排気速度(L/min) 50Hz  716
60Hz  716
実効排気速度(L/min) 50Hz  583
60Hz 583
到達圧力(Pa) 1
吸気接続 NW40
排気接続 NW25
最大許容水蒸気圧(Pa)  -
最大水蒸気処理量(g/h) 200
供給電圧(V) 単相 100-120/
200-230
三相
モータ出力(kW) 0.52
ガスバラスト 有り
(0, Ⅰ , Ⅱ切替)
使用温度範囲(℃)  10 ~ 40
質量(kg) 48

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