ターボ排気ユニット T-Station 85（エドワーズ社製）

T-Station85は、nEXT85Hターボ分子ポンプとドライダイアフラムポンプまたはオイルシールバッキングポンプ（油回転ポンプ）とシンプルなコントローラを組み合わせたターボ排気ユニットです。47 L/s ～ 84 L/sのポンプスピードを実現しました。設定によりスイッチ１つでON／OFFが可能となります。

コンポーネント

特長

  1. nEXT85Hを搭載した高真空排気ユニット
  2. 背圧ポンプはロータリポンプ（E2M1.5）またはダイヤフラムポンプ（XDD1）を2種類選択
  3. オプションで真空ゲージおよびベントバルブの選択が可能
  4. メインフランジはNW40、ISO63、63CFの3種類を準備

用途

  • 研究開発用
  • 理化学実験用高真空排気装置として

仕様

排気速度 N2 NW40フランジ 47 L/s
ISO/63CFフランジ 84 L/s
背圧ポンプ仕様 50Hz  
E2M1.5システム (T-Station 85H Wet) 26.6 L/min
XDD1システム (T-Station 85H Dry) 20 L/min
到達圧力 < 5×10-8 Pa*
*T-Staion 85H Wet CF63の場合
質量 E2M1.5システム 21 kg
XDD1システム 18 kg
リークレート < 1×10-7 Pam3/s
周囲温度範囲（使用時） 12 ～ 40 ℃

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