イオンポンプ／ノーブルポンプ用制御装置 P-500

10-2 Pa～10-4 Pa以下の高真空からイオンポンプ又はノーブルポンプを運転する制御装置です。
表示は緑色の大型LEDを採用して、離れた位置からの視認性を向上しました。
従来モデルとの互換性を考慮しながら、機能アップ、CE、RoHS適合を実現しています。
充実したＩ／０機能に加えて、オプションボード追加によってRS232C通信への対応が可能など自動化装置・遠隔操作用装置に最適です 。
イオンポンプ用とノ－ブルポンプ用それぞれに、超高真空型と高出力型の2タイプがあり、接続するポンプにより、動作可能圧力範囲と起動可能圧力が変わります。

コンポーネント

特長

  1. 高性能
    電流値・電圧値のモニタ時の表示可能最小値の改善、圧力表示の追加、各種保護機能など、高電圧電源に必要な基本機能を高いレベルで実現 ハードプロセス対応
  2. 充実の機能
    セットポイント２点標準装備など各種Ｉ／O標準装備で外部制御に対応 停電自動復帰（選択可能）
  3. 高互換性
    従来機種とリモ－トコネクタ、入力ケーブル、出力ケーブルの互換性を確保
  4. 通信対応
    RS232C （オプション（工場組込対応））
  5. 適合規格
    CEマーキング、RoHS指令　適合

用途

  • 電子顕微鏡、電子線描画装置
  • イオンビ－ム装置、マスクリペア装置
  • 蓄積リング、ビームライン等の加速器関連システム
  • MBE、表面分析装置等の超高真空装置、各種分析装置　　　など

仕様

イオンポンプ制御装置

型名 P-511 IP P-521 IP
名称 イオンポンプ制御装置
対応ポンプ 全てのイオンポンプ
最大出力電圧 DC+5.2 KV ±10 %／DC+7.5 KV ±10 %／DC+3.5 KV ±10 %
プログラムモードでの切換式
最大出力電流 43 mA以上 170 mA以上
入力電圧 AC90 ～ 250 V 50/60 Hz単相 （マルチ電圧入力）
消費電力 最大 約500VA
外形寸法 W209×H99×D370 mm（1/2ラックサイズ）
質量 約6 Kg（オプションボード未装着）
使用温度／湿度 0 ～ 40 ℃／85 % RH以下（結露無きこと）
使用環境 屋内使用／標高2000m以下／汚染度:2／設置カテゴリー:Ⅱ
表示範囲 出力電圧 0.1×103 V（0.1 KV） ～ 8.0×103 Ｖ（8.0 KV）
出力電流 0.1×10－7 A（10 nA） ～ 5.0×10－1 A（500 mA）
圧力 1.1×10－９ ～ 1.0×10－3 Pa
（接続するﾎﾟﾝﾌﾟにより表示範囲が変わります）
1 L/s及び8 L/sの場合、表示機能無し
保護機能 各種保護機能有り　保護機能動作時は表示部にエラーと番号表示
圧力接点 1 μA～99 mAの範囲で２点設定可能
REMOTEモード 前面パネルのREMOTEスイッチにてREMOTE／LOCALの切換が可能
対応 CEマーキング、RoHS

ノーブルポンプ制御装置

型名 P-511 NP P-521 NP
名称 ノーブルポンプ制御装置
対応ポンプ 全てのノーブルポンプ、エクセルポンプ、コンビネーションポンプ
最大出力電圧 DC－5.2 KV ±10 %／DC－7.0 KV ±10 %
プログラムモードでの切換式
最大出力電流 43 mA以上 170 mA以上
入力電圧 AC90 ～ 250 V 50/60 Hz単相 （マルチ電圧入力）
消費電力 最大 約500 VA
外形寸法 W209×H99×D370 mm（1/2ラックサイズ）
質量 約6Kg（オプションボード未装着）
使用温度／湿度 0 ～ 40 ℃／85 % RH以下（結露無きこと）
使用環境 屋内使用／標高2000 m以下／汚染度:2／設置カテゴリー:Ⅱ
表示範囲 出力電圧 0.1×103 V（0.1 KV）～8.0×103 Ｖ（8.0 KV）
出力電流 0.1×10－7 A（10 nA）～5.0×10－1 A（500 mA）
圧力 1.1×10－９ ～ 1.0×10－3 Pa
（接続するﾎﾟﾝﾌﾟにより表示範囲が変わります）
保護機能 各種保護機能有り　保護機能動作時は表示部にエラーと番号表示
圧力接点 1 μA～99 mAの範囲で２点設定可能
REMOTEモード 前面パネルのREMOTEスイッチにてREMOTE／LOCALの切換が可能
対応 CEマーキング、RoHS

外形寸法図

外形寸法図

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