クリスタルゲージ M-320XG
大気圧から1×10-2 Paまでの広い範囲にわたって、信頼性の高い測定が出来ます。
水晶振動子の共振インピーダンスが圧力に応じて変化するという現象を利用していますので、はるかに再現性が高く、また大気圧付近での安定性の高い測定が可能です。
チャンバの大気圧ベント検出用の圧力スイッチとして、またプロセス圧力の測定などにも使用が可能です。
コンポーネント
特長
- 広い測定範囲
大気圧から1×10-2 Paまで、優れた再現性で測定が可能 - 高い安全性
クリスタルゲージは、熱源（フィラメント）を持たない真空計 - コンパクト、超軽量
コントローラ部は、手のひらサイズ、質量はわずか200 g
用途
- 各種真空装置のあら引き圧力の測定
- 各種プロセスの圧力測定
- チャンバーベント等の検出用圧力スイッチ
- その他大気圧から10-2 Pa台までの圧力測定
仕様
| 型 名 | M-320XG | |
|---|---|---|
| 測定球 | XG-1クリスタルゲージヘッド（クリスタルゲージ専用） | |
| 測定圧力範囲 | 1×10-2 Pa ～ 大気圧 | |
| Gas種選択 | N2、Ar、H2、Air | |
| アナログ出力 （圧力信号） |
DC 0 - 10 V：デジットスイッチにより下記項目出力形式設定 ①Log出力 ②複合出力 ③リニア出力 フルスケール圧力レンジ選択可能（1×101、1×102、1×103、1×104、1×105 Pa） |
|
| リモートI/O | INPUT | ①ガス種設定 2bit信号で切換 ②ゼロ点調整 ③ATM設定 |
| OUTPUT | セットポイント出力2点 | |
| セットポイント | 2点（フォトカプラ出力、ヒステリシス固定） デジットスイッチにより設定（SP1、SP2共仮数部、指数部） |
|
| 動作環境 | 5 ℃ ～ 50 ℃（コントローラー含む） ゲージヘッドのみの耐熱温度150℃MAX |
|
| ゼロ点調整 | PUSHスイッチ又は、リモートI/O入力によるソフトウェアゼロ調整 | |
| フルスケール調整 | トリマーボリュームによる調整 | |
| 入出力コネクタ | Dsub 15P | |
| 表示 | LED 3ヶ（PWR／ALM･･･緑／赤の2色発光、SP1-Status･･･緑、SP2-Status･･･緑） | |
| 所要電力 | DC 22 V ～ 33 V、（最大消費電力2 W） | |
| 外形寸法（mm） | 72.5H×102W×44.5D（ゲージヘッド含まず） | |
| 質量 | 200 g（ゲージヘッド含まず） | |
| センサー取り付けフランジ | NW16、NW25、φ34ICF、φ70ICF等 | |
外形寸法図
A寸法
NW16、NW25 ：23
φ34ICF ：36
φ70ICF、VG70 ：30