インレットバルブ(真空バルブ)
インレットバルブ
951-7179 インレットバルブ(接続フランジ:Φ70ICF)/
951-7180 インレットバルブ(接続フランジ:NW25)
真空装置内に特定ガスを導入するためのリークバルブで、軸シールはオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを、真空シールはふっ素ゴム(バイトン)を使用しています。
高真空、超高真空装置をリークさせる際のガス導入用バルブとして適しています。
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