インレットバルブ(真空バルブ)

インレットバルブ

951-7179 インレットバルブ(接続フランジ:Φ70ICF)/
951-7180 インレットバルブ(接続フランジ:NW25)

真空装置内に特定ガスを導入するためのリークバルブで、軸シールはオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを、真空シールはふっ素ゴム(バイトン)を使用しています。
高真空、超高真空装置をリークさせる際のガス導入用バルブとして適しています。

コンポーネント

特長

  1. 超高真空領域用
    10-7 Pa程度の超高真空領域まで使用可能
  2. 大気混入なし
    軸シールにベローズを使用していますので、ガス導入時大気の混入する心配がありません
  3. 優れた許容加熱性
    150 ℃までのベークアウトが可能

ダウンロード

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