Vシリーズ L型バルブ V-040LV/V-065LV/V-100LV
本バルブは、長寿命化とメンテナンス性向上を図ったL型バルブです。バルブに内蔵しているベローズは、材質にハステロイ合金を採用することで長寿命化（当社比※1）を図りました。また、MSBシリーズはボンネット部にメタル中空Oリングを使用しているため、大気からのガス透過が無くガス分析真空装置などに最適です。バルブの種類は手動，圧空駆動ともサイズ及び接続フランジの種類が豊富に揃っています。
コンポーネント
特長
- 超高真空領域まで使用可能
STDシリーズ※2は10-7 Pa程度※3、MSBシリーズ※4は10-8 Pa程度※3の超高真空領域までご使用可能 - 長寿命バルブ
内蔵されているベローズは成形ベローズです。材質はコスト及び寿命※5を考慮しハステロイ合金を使用 - 開閉ポジションセンサスイッチ
標準でバルブに使用しているエアーシリンダには全て、開閉用のポジションセンサスイッチ（磁気センサー）を装備 - 優れた許容加熱性
圧空駆動式バルブのエアーシリンダ耐熱120 ℃の高温仕様となっています。そのため、バルブ開時のバルブボディ部加熱温度はSTDシリーズで150 ℃,MSBシリーズで200 ℃までベークアウトが可能（但し、エアシリンダは120 ℃、センサスイッチは60 ℃を超えないようにご注意願います。）
※1：弊社製品の951シリーズL型バルブとのベローズ寿命の比較（当社比約5倍）。
※2：ボンネットフランジ部のシールにフッ素ゴムOリングを使用したスタンダード仕様。
※3：使い始めは、バルブ内部から水分などのガス放出があるため真空度はあくまで目安です。
また到達圧力は、使用するポンプによって左右されるのでご注意願います。
※4：ボンネットフランジ部のシールにメタル中空Oリングを使用したメタルシール仕様。（流路を仕切る部分は、ふっ素ゴムOリングです。）
※5：ご使用条件でベローズの寿命は変わります。バルブのメンテナンス時期は実機でのご確認をお願いします。
仕様
| サイズ | STDシリーズ | MSBシリーズ | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 40 | 65 | 100 | 40 | 65 | 100 | ||||
| 型名 | ■型名名称表示方法参照 | ||||||||
| 使用圧力領域 | 大気圧～10-7 Pa程度※1 | 大気圧～10-8 Pa程度※1 | |||||||
| Heリーク量 | 弁座部 | 6.7×10-11 Pa･m3/sec以下※2 | |||||||
| 外部 | 6.7×10-11 Pa･m3/sec以下※2 | 1.3×10-11 Pa･m3/sec以下※2 | |||||||
| 許容 加熱温度 |
バルブ開時 | 150 ℃※3 | 200 ℃※3 | ||||||
| バルブ閉時 | 125 ℃※3 | ||||||||
| 主要部 材質 |
バルブボディ | SUS-304 | |||||||
| ベローズ | ハステロイC-22 | ||||||||
| 駆動部 | エアーシリンダ（圧空駆動式バルブ）:アルミ合金、ふっ素ゴムなど ハンドル（手動バルブ）:アルミ合金 |
||||||||
| 真空シール材 | ふっ素ゴムOリング | ふっ素ゴムOリング（メインシール部） SUS321銀メッキメタル中空Oリング （ボンネットシール部） |
|||||||
| 作動エアー圧 | 0.4 ～ 0.6 MPa | ||||||||
| エアー消費量 （L/サイクル）※4 |
0.12 | 0.47 | 1.22 | 0.12 | 0.47 | 1.22 | |||
| エアー供給口 | Rc1/8 | Rc1/4 | Rc1/8 | Rc1/4 | |||||
| 使用流体 | 大気またはガス（腐食性ガスを除く） | ||||||||
| 外形寸法 | 外形寸法図参照 | ||||||||
| 質量 | 外形寸法表参照 | ||||||||
| 接続フランジ※5 | サイズ | 40 | 65 | 100 | |||||
| ICFフランジ | φ70ICF回転 | φ114ICF回転 | φ152ICF回転 | ||||||
| NWフランジ | NW40 | NW63 | NW80 | ||||||
| 旧JISフランジ | 旧JIS 40A | 旧JIS 65A | 旧JIS 100A | ||||||
※1. 使い始めは、バルブ内部から水分などのガス放出があるため真空度はあくまで目安です。また到達圧力は、使用するポンプによって左右されるのでご注意願います。
※2. ふっ素ゴムOリングのガス透過は仕様外。
※3. センサースイッチの耐熱は60℃ですので、120℃の加熱時はセンサースイッチを取り外してください。エアーシリンダ部を120℃以下に加熱制御できれば、バルブボディ部はSTDで150℃（バルブ開状態）、MSBで200℃（バルブ開状態、連続4時間）まで加熱可能です。
※4. エアー圧0.5MPa時1サイクル（開閉）でのエアー消費量です。NC式バルブの場合は約半分の値となります。
※5. 接続フランジの詳細は■外形寸法図，■外形寸法表，■接続フランジを参照して下さい。
外形寸法図
