スパッタリング装置 EB1100

豊富な実績を通じて培ってきた技術を集約させた研究開発から小規模生産に最適なスパッタリング装置です。多彩なオプション機能のラインナップにより、お客様のご要望に応じた最適なシステムにカスタマイズする事が可能です。

製品情報

  • 小規模生産、研究開発、材料開発
  • 全自動操作(排気、基板搬送、成膜を全自動処理)
  • ∅4inchカソード最大4基搭載
  • 最高800 ℃までの基板高温加熱
  • 装置本体と制御系ラック一体による省スペース化
  • 対応基板サイズ:∅4inch、∅6inch、∅8inch、トレイ対応