スパッタリング装置 EC7400

半導体製造装置・ディスク製造装置などで培われた技術を継承した、高品質・省スペース設計のスパッタリング装置です。用途に応じて多彩なスパッタリングモジュールを搭載可能です。

製品情報

  • 高周波フィルター
  • 圧電素子

用途に応じて、複数のPVDモジュールをラインナップ

  • 積層成膜が可能なマルチカソードスパッタリング
  • 高均一を維持しつつ高い生産性を実現するセミバッチスパッタリング
  • 高成膜速度対応の静止対向スパッタリング
  • 対応基板サイズ：∅4inch、∅6inch、∅8inch、トレイ対応
  • 搭載モジュール数：最大3モジュール
  • その他搭載可能モジュール：エッチング、加熱

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