スパッタリング装置 EC7800

磁性薄膜スパッタリング装置として多くの納入実績のあるHC7100シリーズと半導体向けスパッタリング装置として実績のあるIC7000シリーズを融合したスパッタリング装置です。

製品情報

  • 多層膜成膜（MRAM、磁気ヘッド、磁気センサー）

  • 不揮発性メモリの機能膜

  • 原子層レベルの面内均一性と膜厚制御
  • エッチングや加熱などの処理モジュールとの組み合わせによる良質な界面コントロール
  • 超高真空下における多層成膜
  • 対応基板サイズ：∅8inch、∅12inch
  • 搭載モジュール数：最大10モジュール
  • その他 搭載可能モジュール：エッチング、酸化、加熱、冷却

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