エッチング装置 NC8000

MRAMなどの難エッチング材料の積層膜を一括エッチングが可能なイオンビームエッチングモジュールを搭載したエッチング装置です。成膜モジュールを搭載することで加工から保護膜成膜まで真空一貫処理が可能です。

製品情報

  • MRAM・磁気センサ
  • その他 難エッチング材料のエッチング
  • 入射イオンのエネルギーと入射角度の制御
  • リアクティブイオンエッチングでは困難な多層磁性膜の一括エッチング
  • 大口径グリッドによる高い均一性と生産性
  • 加工から保護膜成膜までの真空一貫処理
  • 対応基板サイズ：∅8inch、∅12inch
  • 搭載モジュール数：最大5モジュール
  • その他 搭載可能モジュール：酸化、保護膜成膜（CVD、スパッタリング）

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