スパッタリング装置 HC7300

エッチング、成膜装置を搭載した磁気ヘッド生産に実績のある一貫生産装置です。

製品情報

  • 磁気ヘッド加工、およびキャップ膜成膜
  • 加工からキャップ膜成膜まで真空一貫処理が可能
  • 高い生産性
  • 対応基板サイズ：∅6inch、∅8inch
  • 搭載モジュール数：最大6モジュール
  • その他搭載可能モジュール：エッチング、酸化、加熱、冷却

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