ガス分析システム

特長

1. フレキシブルにカスタマイズが可能
   基本構成（排気系＋マスフィルタ）に適切な導入系を選択するセミオートタイプ。お客様のご要望に応じ、測定用途に合わせたフルカスタムを選択、測定用途に合わせたフルカスタムタイプにも対応します。
2. 省スペース
   W480 mm×D500 mmの設置スペース（基本形タイプ）
3. 簡単操作
   シンプルでありながら、基本的なインターロック機能を標準装備。

用途

• 真空装置残留ガス分析
• 熱天秤放出ガス分析
• 昇温脱離ガス分析
• 炉内ガス分析、モニタリング
  真空熱処理炉、真空浸炭炉、真空浸窒炉、金属溶解炉、バイオガス化炉、電子ビーム式溶解炉（EB炉）、ウエハ引上炉　など
• 反応ガス分析
• 封入ガス分析
• 排ガスモニタ　等

仕様

• 基本形からフルオーダーまで対応。
• お客様から“どんなガス分析がしたいか”などを伺い、オーダーメイドでのお客様のご要望・測定用途に合わせて設計します。
• 詳しくは弊社へお問合せください。