ガス分析システム
四重極質量分析計と排気ユニットを組み合わせ、独自のガス導入系を用いたガス分析システムです。お客様のご要望・測定用途に適したガス分析システムをご提供いたします。
コンポーネント
特長
- フレキシブルにカスタマイズが可能
基本構成（排気系＋マスフィルタ）に適切な導入系を選択するセミオートタイプ。お客様のご要望に応じ、測定用途に合わせたフルカスタムを選択、測定用途に合わせたフルカスタムタイプにも対応します。 - 省スペース
W480 mm×D500 mmの設置スペース（基本形タイプ） - 簡単操作
シンプルでありながら、基本的なインターロック機能を標準装備。
用途
- 真空装置残留ガス分析
- 熱天秤放出ガス分析
- 昇温脱離ガス分析
- 炉内ガス分析、モニタリング
真空熱処理炉、真空浸炭炉、真空浸窒炉、金属溶解炉、バイオガス化炉、電子ビーム式溶解炉（EB炉）、ウエハ引上炉 など - 反応ガス分析
- 封入ガス分析
- 排ガスモニタ 等
仕様
- 基本形からフルオーダーまで対応。
- お客様から“どんなガス分析がしたいか”などを伺い、オーダーメイドでのお客様のご要望・測定用途に合わせて設計します。
- 詳しくは弊社へお問合せください。