コールドカソードピラニゲージ M-361CP

CEマーキング RoHS

大気圧～中真空を測定するピラニゲージと、高真空～超高真空を測定するコールドカソードゲージを組み合わせたコンビネーションゲージです。1台で広い圧力領域を測定可能です。
1台2役でシステムのコストダウンや管理負荷低減に貢献します。

コンポーネント

特長

  1. 優れた測定安定性
    ・ピラニとコールドカソードの切替不良、未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを低減
  2. 優れた大気圧検出を実現
    ・本器搭載のピラニゲージは、大気圧付近で安定性・再現性が高く、応答性は隔膜真空計と同等
  3. 簡易なメンテナンス
    ・コールドカソードのメンテナンスは部品交換のみ

※水素や酸素といった活性ガスの分圧が高い環境や、これらのガスを大量に使用する環境では、CCゲージの放電開始が著しく遅れる場合があります。そのような環境でご使用になる場合は、弊社にご相談ください。

用途

超高真空～大気圧まで、各種真空測定に幅広く対応
(例)
エレクトロニクス・光学：蒸着、コーティング、電子ビームマスク描画、スパッタリング、イオン注入、MBE
分析：電子顕微鏡、SIMS、AES、XPS他、各種表面/ガス/質量分析
各種工業：アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接、冶金、分子蒸留、ガス充填
高エネルギー物理：加速器、サイクロトロン

仕様

型　名 コールドカソードピラニゲージ
M-361CP-SP
セットポイント付タイプ		 M-361CP-RS
RS485タイプ
圧力測定範囲 1×10-7 ～ 1×105 （Pa）
入力電圧 DC+15 ～ 30 V
消費電力 2.4 W
アナログ出力 0 ～ 10 V －
セットポイント 2接点出力（DC30 V,1 A）
インターフェース － RS485
入出力コネクタ D‐sub9ピン
最大ケーブル長 300 m（1 mm2）＊1
使用温度範囲 5 ～ 55 ℃
保存温度範囲 -20 ～ 70 ℃（非動作時）
センサ－型名 CP2
センサー材質（主要部） フィラメント：W､電極：Mo、絶縁石：Al2O2、ケース：SUS304
外形寸法（mm） 50(W)×50(D)×110(L)（継ぎ手 NW25仕様）
フランジ形状 NW25、NW40、φ70ICF
対応 CEマーキング、RoHS、IP40

＊1）M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100 ｍとなります。

外形寸法図

外形寸法図

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