コールドカソードピラニゲージ M-361CP（真空計）
大気圧～中真空を測定するピラニゲージと、高真空～超高真空を測定するコールドカソードゲージを組み合わせたコンビネーションゲージです。1台で広い圧力領域を測定可能です。
1台2役でシステムのコストダウンや管理負荷低減に貢献します。
コンポーネント
特長
- 優れた測定安定性
・ピラニとコールドカソードの切替不良、未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを低減 - 優れた大気圧検出を実現
・本器搭載のピラニゲージは、大気圧付近で安定性・再現性が高く、応答性は隔膜真空計と同等 - 簡易なメンテナンス
・コールドカソードのメンテナンスは部品交換のみ
※水素や酸素といった活性ガスの分圧が高い環境や、これらのガスを大量に使用する環境では、CCゲージの放電開始が著しく遅れる場合があります。そのような環境でご使用になる場合は、弊社にご相談ください。
用途
超高真空～大気圧まで、各種真空測定に幅広く対応
(例)
エレクトロニクス・光学：蒸着、コーティング、電子ビームマスク描画、スパッタリング、イオン注入、MBE
分析：電子顕微鏡、SIMS、AES、XPS他、各種表面/ガス/質量分析
各種工業：アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接、冶金、分子蒸留、ガス充填
高エネルギー物理：加速器、サイクロトロン
仕様
| 型 名 | コールドカソードピラニゲージ | |
|---|---|---|
| M-361CP-SP セットポイント付タイプ |
M-361CP-RS RS485タイプ |
|
| 圧力測定範囲 | 1×10-7 ～ 1×105 （Pa） | |
| 入力電圧 | DC+15 ～ 30 V | |
| 消費電力 | 2.4 W | |
| アナログ出力 | 0 ～ 10 V | － |
| セットポイント | 2接点出力（DC30 V,1 A） | |
| インターフェース | － | RS485 |
| 入出力コネクタ | D‐sub9ピン | |
| 最大ケーブル長 | 300 m（1 mm2）＊1 | |
| 使用温度範囲 | 5 ～ 55 ℃ | |
| 保存温度範囲 | -20 ～ 70 ℃（非動作時） | |
| センサ－型名 | CP2 | |
| センサー材質（主要部） | フィラメント：W､電極：Mo、絶縁石：Al2O2、ケース：SUS304 | |
| 外形寸法（mm） | 50(W)×50(D)×110(L)（継ぎ手 NW25仕様） | |
| フランジ形状 | NW25、NW40、φ70ICF | |
| 対応 | CEマーキング、RoHS、IP40 | |
＊1）M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100 ｍとなります。
外形寸法図
