超高真空バリアブルリークバルブ

本バリアブルリークバルブは、導入ガス流量の調節を必要とする真空装置に使用するもので、調節可能最少リーク量が6.7×10^-9Pa・m³/s以下ときわめて微少流量領域からのガス導入が可能です。
また、全金属製で450℃までのベーキングが可能ですので、超高真空装置用に適しています。

熱と外部衝撃に強いシール部
シール部はWC系超硬合金と銅合金を組み合わせてシールしておりますのでサファイアと銅合金を組み合わせてシールするのと異なり、熱的・機械的影響から生じる割れはありません
微少ガス流量を安定調節
調節可能最少リーク量が6.7×10^-9Pa・m³/s以下（Heガス導入、1次側ゲージ圧力0.2 MPa時）と、きわめて微少ガス流量の導入が可能
優れた許容加熱性
全金属製で450 ℃までのベーキングが可能
広範囲ガス流量の調節が可能
超高真空接続可能

使用真空領域		大気圧～10^-8Pa程度
調節可能最少リーク量^※1		6.7×10^-9Pa・m³/s以下
バルブ全閉時リーク量		6.7×10^-11Pa・m³/s以下
許容加熱温度^※2		450 ℃（開閉いずれも可）
ガスケットの寿命		約300回シール（室温使用時）約30回シール（ベーキングを伴う場合）（ガスケット交換可能）
構成部品材料		本体：SUS-304 シール部：WC系超硬合金ガスケット：Cu合金
接続フランジ	ガスOUTLET側	φ70ICF固定フランジ
接続フランジ	ガスINLET側	φ8×φ6SUS-304管（951-7170） φ34ICF固定フランジ付（951-7172）
質量		1.3 kg

※1. 圧力0.2 MPaのHeガスをガス導入側に接続しφ70ICF側を真空に排気している状態での値です。
※2. ガス導入側およびφ70ICF側を真空またはArガス等の不活性ガスで置換させた状態での値です。

外形寸法図

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