スパッタリング装置 EC7000
豊富な実績を通じて培ってきた技術を集約させた研究開発から小規模生産に最適な小型クラスター式のスパッタリング装置です。10段のロードロックストッカーを装備して、多彩なオプション機能のラインナップにより、お客様のご要望に応じた最適なシステムにカスタマイズする事が可能です。
豊富な実績を通じて培ってきた技術を集約させた研究開発から小規模生産に最適な小型クラスター式のスパッタリング装置です。10段のロードロックストッカーを装備して、多彩なオプション機能のラインナップにより、お客様のご要望に応じた最適なシステムにカスタマイズする事が可能です。