スパッタリング装置 EL3000

  • LED等の小型基板を用いる分野での生産に最適なトレイ方式を採用し、複数のスパッタ室を備えて多層膜の形成も可能なインラインスパッタリング装置です。

製品情報

  • LED生産用（ITO透明導電膜、メタル電極膜、等）
  • トレイ搬送による多数枚基板のバッチ処理が可能
  • 対応基板サイズ：∅2inch、∅3inch、∅4inch、∅6inch、∅8inch、トレー対応

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