ディスクスパッタリング装置 ML3000シリーズ
HDDのキーコンポーネントである磁気ディスクの量産から次世代開発にまで対応可能なスパッタリング装置です。
製品情報
ハードディスク（磁気ディスク）の生産及び次世代開発
- 他社装置比較で約2倍の高い生産性(最大1,800枚/時間）を実現
- 10日以上の連続稼動が可能
- お客様のプロセスに合わせたチャンバの増設が可能な高拡張性
- 磁気特性向上のために真空の質を重視(当社従来装置比 1桁改善）
- 次世代熱アシスト記録媒体開発用には高温加熱、冷却ユニットを用意
- 当社従来装置比で約30 %の省スペース化を実現
- 装置構成：インライン式
- 対応基板サイズ：2.5インチ、3.5インチ
- 生産性：最大1,800枚/時間（装置構成、プロセス時間による）
- 真空性能：到達真空度 10-6Pa台
- 排気系：TMP/CRYO PUMP選択可能
- 設置面積：90 ｍ2（P22構成）