スパッタリング装置 ML3000

高速搬送、高成膜レート、生産規模に応じた構成に拡張可能なHDDメディア向けインラインスパッタリング装置です。

製品情報

ハードディスク（磁気ディスク）の生産及び次世代開発

  • 高い生産性と拡張性
  • 次世代熱アシスト記録媒体開発用には高温加熱、冷却ユニットを用意
  • 対応基板サイズ：∅2.5inch、∅3.5inch
  • その他搭載可能モジュール： 加熱、冷却

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