装置改造サポート

ご納入済みの装置を有効にご活用頂くために、リニューアルやアップグレードなどお客様のニーズに最適な改造のプランをご提案します。

装置リニューアル

PLC,GOT変更,タッチパネル化

旧式のボタンスイッチ、トグルスイッチ、ダイヤルなどのアナログ操作系を最新式の液晶タッチパネル方式のGOT（グラフィックオペレーションターミナル）に変更し操作性を格段に向上させます。
また、PLCを搭載することによる自動化やインターロックの強化についても実現可能になります。
生産終了になった古いPLCやGOTの置き換えもご相談を承ります。

ポンプ変更（DP⇒TMP等）

DP（油拡散ポンプ）をTMP（ターボ分子ポンプ）やCP（クライオポンプ）に変更、油回転ポンプをドライポンプに変更することにより、オイル汚染の心配の無いクリーンな真空を実現します。
また、到達圧力までの時間を短縮したい、排気速度を上げてスループットを向上させたりダウンタイムを短縮したい等、真空排気性能の向上に関わるご相談も承ります。

電源変更

生産終了や修理対応期限の過ぎた旧型電源の置き換えについてご相談を承ります。
カソード用DC/RF電源、蒸着用電源、加熱用電源など、各種電源についてご相談を承ります。

装置アップグレード

基板変更

φ5インチ→φ6インチ、φ6インチ→φ8インチなどの基板のインチサイズ変更、オリフラ仕様→ノッチ仕様への変更、Si基板→ガラス基板などの基板材種変更など、お客様のニーズに合わせた基板変更を検討します。
角型基板など異形基板への変更もご相談を承ります。

データロギング/オンライン機能追加

各種放電電力、電流電圧、真空度、ガス流量など、装置の運用に関する様々な数値を自動で取り込み.csv形式等のファイルでエクスポート可能なデータロギングを設置します。
リアルタイムモニター（グラフ）表示などのご相談も承ります。

ガス系追加

反応性スパッタリングや微量の添加ガス導入などを目的としたガス導入系の追加についてご相談を承ります。
※一部有害ガスについては対応不可の場合があります。

ソフト変更

操作性を向上させたいというご要望についてソフト変更によるご提案を致します。
安全性を向上させたいというご要望についてインターロック追加によるご提案を致します。

お問い合わせ

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