回転導入機磁気結合型・ベローズ式

真空中に取り付けた機器の回転運動の導入に用い、圧力が10^-8Pa以下の超真空領域まで使用することが可能な回転導入機です。磁気結合型回転導入機とベローズ式回転導入機があります。

ベローズ式回転導入機のイメージ

※アウターロータ取除いた場合、※300 ℃、※※150 ℃、※※※400 ℃となります。
※また、加熱時は駆動しないでください。

型名	954-7620		954-7630	954-7640
駆動方式	ベローズ式
接続フランジ	φ70ICF		φ34ICF
駆動軸径	φ8		φ6
駆動方法	手動	モータ駆動	手動	手動	モータ駆動
伝達トルク	2 N・m	1.2 N・m	0.3 N・m	1 N・m	0.6 N・m
許容加熱温度※	200 ℃
許容回転数	－	100 rpm	－	－	200 rpm
リーク量	1.3×10^-11 Pa・m³/s以下		1.3×10^-11 Pa・m³/s以下
使用材料	本体：SUS-304 ベローズ：SUS-304
質量	1.15 kg		0.33 kg	0.74 kg
用途	シャッタなどの手軽な回転導入に。		シャッタなどの手軽な回転導入に。	ミニICFポートを使いモータ駆動や高精度、高トルクの回転導入に。

ベローズ式回転導入機のイメージ

※加熱時は駆動しないでください。

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