回転導入機 磁気結合型・ベローズ式
真空中に取り付けた機器の回転運動の導入に用い、圧力が10-8 Pa以下の超真空領域まで使用することが可能な回転導入機です。磁気結合型回転導入機とベローズ式回転導入機があります。
コンポーネント
特長
- 大きな伝達トルク
3 kg・cmから最高100 kg・cmの高トルクタイプのものまで各種ご用途に応じて選択可 - ベークアウト可能
真空ブレージング接合を採用し、エラストマーシールは一切使用しておりませんので、超高真空系に最適 - モータ駆動可能
手動とモータの2つの駆動方式が可能（954-7630は手動駆動のみ）
仕様
磁気結合型回転導入機
| 型名 | 954-7603 | 954-7604 | 954-7605 | 954-7606 | 954-7607 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 駆動方式 | 磁気結合 | |||||
| 接続フランジ | φ34ICF | φ70ICF | ||||
| 駆動軸径 | φ6 | φ8 | φ12 | |||
| 駆動方式 | 手動及びモータ駆動 | |||||
| 伝達 トルク |
手動 | 0.5 N・m | 1.6 N・m | 1.6 N・m | 5.9 N・m | 9.8 N・m |
| モータ駆動 | 0.44 N・m | 1.42 N・m | 1.42 N・m | 5.3 N・m | 8.8 N・m | |
| 許容回転数 | 500 RPM | |||||
| 許容加熱温度 | ※100 ℃ | ※※100 ℃ | ※※※100 ℃ | ※※100 ℃ | ||
| リーク量 | 1.3×10-11 Pa・m3/sec以下 | |||||
| 質量 | 0.72 kg | 2.6 kg | 2.5 kg | |||
※アウターロータ取除いた場合、※300 ℃、※※150 ℃、※※※400 ℃となります。
※また、加熱時は駆動しないでください。
ベローズ式回転導入機
| 型名 | 954-7620 | 954-7630 | 954-7640 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 駆動方式 | ベローズ式 | ||||
| 接続フランジ | φ70ICF | φ34ICF | |||
| 駆動軸径 | φ8 | φ6 | |||
| 駆動方法 | 手動 | モータ 駆動 |
手動 | 手動 | モータ 駆動 |
| 伝達トルク | 2 N・m | 1.2 N・m | 0.3 N・m | 1 N・m | 0.6 N・m |
| 許容加熱温度※ | 200 ℃ | ||||
| 許容回転数 | － | 100 rpm | － | － | 200 rpm |
| リーク量 | 1.3×10-11 Pa・m3/s以下 | 1.3×10-11 Pa・m3/s以下 | |||
| 使用材料 | 本体：SUS-304 ベローズ：SUS-304 |
||||
| 質量 | 1.15 kg | 0.33 kg | 0.74 kg | ||
| 用途 | シャッタなどの手軽な回転導入に。 | シャッタなどの手軽な回転導入に。 | ミニICFポートを使いモータ駆動や高精度、高トルクの回転導入に。 | ||
※加熱時は駆動しないでください。