直線導入機（真空部品）
真空中に取り付けた機器の直線運動の導入に用い、圧力が10-8 Pa以下の超高真空領域まで使用できます。
コンポーネント
特長
- オールメタルなのでハードベークが可能で、超高真空系に最適
- 真空側と大気側とを、ベローズで完全に遮断したベローズ式直線導入機
- ベローズの伸縮を利用し真空内に直線運動を導入するため、操作中でのリークの心配不要
仕様
| 型名 | 名称 | 駆動方式 | 接続フランジ | 直線運動量 | 許容最大推力 | 許容加熱温度 | 重量 | バックラッシュ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 954-7621 | 直線導入機 | ベローズ直進運動 | φ70ICF | 20 mm | 196 N | 300 ℃ | 0.6 kg | ±0.5 mm以下 |
| 954-7622 | 直線導入機 | ↑ | φ70ICF | 40 mm | 196 N | 300 ℃ | 0.7 kg | |
| 954-7623 | ミニ直線導入機 | ↑ | φ34ICF | 20 mm | 147 N | 300 ℃ | 0.48 kg | |
| 954-7626 | ミニ直線導入機 | ↑ | φ34ICF | 25 mm | 147 N | 200 ℃ | 0.9 kg | ±0.3 mm以下 |
| 954-7627 | ミニ直線導入機 | ↑ | φ34ICF | 40 mm | 147 N | 200 ℃ | 1.1 kg |
その他共通仕様
- リーク量：1.3×10-11 Pa・m3/s以下