直線導入機（真空部品）

真空中に取り付けた機器の直線運動の導入に用い、圧力が10^-8Pa以下の超高真空領域まで使用できます。

型名	名称	駆動方式	接続フランジ	直線運動量	許容最大推力	許容加熱温度	重量	バックラッシュ
954-7621	直線導入機	ベローズ直進運動	φ70ICF	20 mm	196 N	300 ℃	0.6 kg	±0.5 mm以下
954-7622	直線導入機	↑	φ70ICF	40 mm	196 N	300 ℃	0.7 kg
954-7623	ミニ直線導入機	↑	φ34ICF	20 mm	147 N	300 ℃	0.48 kg
954-7626	ミニ直線導入機	↑	φ34ICF	25 mm	147 N	200 ℃	0.9 kg	±0.3 mm以下
954-7627	ミニ直線導入機	↑	φ34ICF	40 mm	147 N	200 ℃	1.1 kg	±0.3 mm以下

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