電流端子（真空部品）
弊社では、セラミック封止の端子をICFフランジに溶接した、各種電流導入端子を揃えております。
これらの端子は、絶縁特性がよく、機械的および熱的に丈夫で、しかもリークのおそれがないという特性を持っています。
そのため、超高真空装置や熱的負荷の大きい装置に用いられ、高い信頼性を得ています。
コンポーネント
特長
- 実績あるロー付け技術とICFフランジにより、高温のベーキングに対応
- セラミック封入を用いていますので、熱的特性・機械的特性・電気的特性に優れています。
- 超高真空領域まで使用可能
- 大電流導入用、小電流導入用、高圧電流導入用、多極端子付など各種取り揃えております。
仕様
| 型名 品名 |
電極 | 質量 | 適合 フランジ |
適合コネクタ | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 外径×内径×長さ | 材質 | 数 | 電流容量 | 耐電圧 | 大気側 | 真空側 | |||
| 954-7209 ミニ100A電流端子 |
φ6×130 （大気側φ6.2） |
無酸素銅 （Niメッキ） |
1 | 100 A | DC7 kV | 93 g | φ34ICF | 953-9910 100 A接続端子 |
953-9900・953-9901 100 A接続端子100AL接続金具 |
| 954-7245 ミニ5A電流端子 |
φ1.5×91 | コバール | 1 | 5 A | DC1 kV | 50g | 954-7326 #16ソケットコンタクト |
||
| 954-7238 ミニHF電流端子 |
φ3×7 | 非磁性モネル | 1 | 5 A | AC1.5 kV （r.m.s） |
60 g | N-P-3-AS HF接栓 |
||
| 954-7276 ミニMHV電流端子 |
φ1.57 φ2.4×φ5.5×19.5 |
コバール | 1 | 3 A | DC5 kV | 50 g | UG-932/U MHVコネクタ |
954-7326＃16 ソケットコンタクト |
|
| 954-7227 ミニ2W2T電流端子 |
φ1.2×115×2本φ1.2×φ0.9×115×2本 | ニッケル | ワイヤ 2 チューブ 2 |
5 A/本 （ワイヤのみ） |
DC1 kV | 50 g | |||
| 954-7203 100A電流端子 |
φ6×130 （大気側φ6.2） |
無酸素銅 （Niメッキ） |
1 | 100 A | DC7 kV | 330 g | φ70ICF | 953-9910 100 A接続端子 |
953-9900・953-9901・100 A接続端子 953-9916 100AL接続金具 |
| 954-7210 100A2P電流端子 |
φ6×130 （大気側φ6.2） |
無酸素銅 （Niメッキ） |
2 | 100 A/本 | DC7 kV | 380 g | 953-9910 100 A接続端子 |
953-9900・953-9901・100 A接続端子 953-9916 100AL接続金具 |
|
| 954-7260 4P電流端子 |
φ6.1×125 | ニッケル | 4 | 50 A/本 | DC1 kV | 510 g | 954-7261 4Pプラグ （MSコネクタ） |
||
| 954-7207 400A電流端子 |
φ15.8×140 | 無酸素銅 （Niメッキ） |
1 | 400 A | DC3 kV | 540 g | 953-9907 400A F接続端子953-9917 400A L接続金具 |
||
| 954-7290 6P電流端子 |
φ1.6×64.5×4本φ1.6×68×2本 | コバール | 6 | 5 A/本 | DC1 kV | 235 g | 954-7291 6Pプラグ （MSコネクタ） |
954-7326＃16 ソケットコンタクト |
|
| 954-7221 8W電流端子 |
φ1.2×250 | ニッケル | ワイヤ8 | 5 A/本 | DC1 kV | 270 g | |||
| 954-7225 8T電流端子 |
φ1.2×φ0.9×250 | ニッケル | チューブ8 | － | DC1 kV | 270 g | |||
| 954-7223 4W4T電流端子 |
φ1.2×250×4本φ1.2×φ0.9×250×4本 | ニッケル | ワイヤ 4 チューブ 4 |
5 A/本 （ワイヤのみ） |
DC1 kV | 270 g | |||
| 954-7252 13P電流端子 |
φ1×24 | コバール | 12 | 5 A/本 | DC1.5 kV | 300 g | 954-9254 13P接栓 （MSコネクタ） |
954-7256＃20 ソケットコンタクト |
|
- MS型多ピン電流端子は別ページ参照。
- コバールは鉄、ニッケル、コバルトを主な成分とする合金です。
- 1×10-2 Pa以上の圧力下では耐電圧が低下して放電を起こす場合があります。
その他共通仕様
| 許容加熱温度 | 300 ℃ |
|---|---|
| 許容温度変化 | 全機種25 ℃/min以下 |
| 絶縁抵抗 | 954-7276MHV電流端子および954-7238ミニHF電流端子は1000 MΩ以上、それ以外は5000 MΩ以上 |
| リーク量 |
1.3×10-11 Pa・m3/s以下 |
MSコネクタ型 多ピン電流端子
| 型名 | 品名 | 電極数 | 質量 | 適合フランジ | 適合コネクタ（大気側） |
|---|---|---|---|---|---|
| 954-7911 | 3P電流端子 | 3 | 70 g | φ34ICF | 954-7915 3P接栓 |
| 954-7912 | 340 g | φ70ICF | |||
| 954-7921 | 4P電流端子 | 4 | 70 g | φ34ICF | 954-7925 4P接栓 |
| 954-7922 | 340 g | φ70ICF | |||
| 954-7931 | 6P電流端子 | 6 | 70 g | φ34ICF | 954-7935 6P接栓 |
| 954-7932 | 340 g | φ70ICF | |||
| 954-7942 | 10P電流端子 | 10 | 340 g | φ70ICF | 954-7945 10P接栓 |
| 954-7952 | 14P電流端子 | 14 | 340 g | φ70ICF | 954-7955 14P接栓 |
| 954-7962 | 19P電流端子 | 19 | 340 g | φ70ICF | 954-7965 19P接栓 |
| 954-7972 | 24P電流端子 | 24 | 320 g | φ70ICF | 954-7975 24P接栓 |
| 954-7982 | 37P電流端子 | 37 | 330 g | φ70ICF | 954-7985 37P接栓 |
| 954-7993 | 48P電流端子 | 48 | 1140 g | φ114ICF | 954-7995 48P接栓 |
その他共通仕様
| 電流容量 | 3 A/1本 |
|---|---|
| 耐電圧※ | AC350 V〔r.m.s〕、DC500 V |
| 絶縁抵抗 | 1000 MΩ以上 |
| 許容加熱温度 | 350 ℃ |
| 温度変化 | 15 ℃/min以下 |
| リーク量 | 1.3×10-11 Pa・m3/s以下 |
| 真空側コネクタ | 954-7326、954-7327＃16ソケットコンタクト |
| 電極材質 | コバール |
| 電極太さ | φ1.57 |
※オプションの大気側コネクタと定格電圧が異なりますのでに注意下さい。