電流端子（真空部品）

弊社では、セラミック封止の端子をICFフランジに溶接した、各種電流導入端子を揃えております。
これらの端子は、絶縁特性がよく、機械的および熱的に丈夫で、しかもリークのおそれがないという特性を持っています。
そのため、超高真空装置や熱的負荷の大きい装置に用いられ、高い信頼性を得ています。

コンポーネント

特長

  1. 実績あるロー付け技術とICFフランジにより、高温のベーキングに対応
  2. セラミック封入を用いていますので、熱的特性・機械的特性・電気的特性に優れています。
  3. 超高真空領域まで使用可能
  4. 大電流導入用、小電流導入用、高圧電流導入用、多極端子付など各種取り揃えております。

仕様

型名
品名		 電極 質量 適合
フランジ		 適合コネクタ
外径×内径×長さ 材質 数 電流容量 耐電圧 大気側 真空側
954-7209
ミニ100A電流端子		 φ6×130
（大気側φ6.2）		 無酸素銅
（Niメッキ）		 1 100 A DC7 kV 93 g φ34ICF 953-9910
100 A接続端子		 953-9900・953-9901
100 A接続端子100AL接続金具
954-7245
ミニ5A電流端子		 φ1.5×91 コバール 1 5 A DC1 kV 50g 954-7326
#16ソケットコンタクト		  
954-7238
ミニHF電流端子		 φ3×7 非磁性モネル 1 5 A AC1.5 kV
（r.m.s）		 60 g N-P-3-AS
HF接栓		  
954-7276
ミニMHV電流端子		 φ1.57
φ2.4×φ5.5×19.5		 コバール 1 3 A DC5 kV 50 g UG-932/U
MHVコネクタ		 954-7326＃16
ソケットコンタクト
954-7227
ミニ2W2T電流端子		 φ1.2×115×2本φ1.2×φ0.9×115×2本 ニッケル ワイヤ
2
チューブ
2		 5 A/本
（ワイヤのみ）		 DC1 kV 50 g    
954-7203
100A電流端子		 φ6×130
（大気側φ6.2）		 無酸素銅
（Niメッキ）		 1 100 A DC7 kV 330 g φ70ICF 953-9910
100 A接続端子		 953-9900・953-9901・100 A接続端子
953-9916
100AL接続金具
954-7210
100A2P電流端子		 φ6×130
（大気側φ6.2）		 無酸素銅
（Niメッキ）		 2 100 A/本 DC7 kV 380 g 953-9910
100 A接続端子		 953-9900・953-9901・100 A接続端子
953-9916
100AL接続金具
954-7260
4P電流端子		 φ6.1×125 ニッケル 4 50 A/本 DC1 kV 510 g 954-7261
4Pプラグ
（MSコネクタ）		  
954-7207
400A電流端子		 φ15.8×140 無酸素銅
（Niメッキ）		 1 400 A DC3 kV 540 g 953-9907
400A F接続端子953-9917
400A L接続金具		  
954-7290
6P電流端子		 φ1.6×64.5×4本φ1.6×68×2本 コバール 6 5 A/本 DC1 kV 235 g 954-7291
6Pプラグ
（MSコネクタ）		 954-7326＃16
ソケットコンタクト
954-7221
8W電流端子		 φ1.2×250 ニッケル ワイヤ8 5 A/本 DC1 kV 270 g    
954-7225
8T電流端子		 φ1.2×φ0.9×250 ニッケル チューブ8 － DC1 kV 270 g    
954-7223
4W4T電流端子		 φ1.2×250×4本φ1.2×φ0.9×250×4本 ニッケル ワイヤ
4
チューブ
4		 5 A/本
（ワイヤのみ）		 DC1 kV 270 g    
954-7252
13P電流端子		 φ1×24 コバール 12 5 A/本 DC1.5 kV 300 g 954-9254
13P接栓
（MSコネクタ）		 954-7256＃20
ソケットコンタクト
  • MS型多ピン電流端子は別ページ参照。
  • コバールは鉄、ニッケル、コバルトを主な成分とする合金です。
  • 1×10-2 Pa以上の圧力下では耐電圧が低下して放電を起こす場合があります。

その他共通仕様

許容加熱温度 300 ℃
許容温度変化 全機種25 ℃/min以下
絶縁抵抗 954-7276MHV電流端子および954-7238ミニHF電流端子は1000 MΩ以上、それ以外は5000 MΩ以上
リーク量

1.3×10-11 Pa・m3/s以下

MSコネクタ型 多ピン電流端子

型名 品名 電極数 質量 適合フランジ 適合コネクタ（大気側）
954-7911 3P電流端子 3 70 g φ34ICF 954-7915 3P接栓
954-7912 340 g φ70ICF
954-7921 4P電流端子 4 70 g φ34ICF 954-7925 4P接栓
954-7922 340 g φ70ICF
954-7931 6P電流端子 6 70 g φ34ICF 954-7935 6P接栓
954-7932 340 g φ70ICF
954-7942 10P電流端子 10 340 g φ70ICF 954-7945 10P接栓
954-7952 14P電流端子 14 340 g φ70ICF 954-7955 14P接栓
954-7962 19P電流端子 19 340 g φ70ICF 954-7965 19P接栓
954-7972 24P電流端子 24 320 g φ70ICF 954-7975 24P接栓
954-7982 37P電流端子 37 330 g φ70ICF 954-7985 37P接栓
954-7993 48P電流端子 48 1140 g φ114ICF 954-7995 48P接栓

その他共通仕様

電流容量 3 A/1本
耐電圧※ AC350 V〔r.m.s〕、DC500 V
絶縁抵抗 1000 MΩ以上
許容加熱温度 350 ℃
温度変化 15 ℃/min以下
リーク量 1.3×10-11 Pa・m3/s以下
真空側コネクタ 954-7326、954-7327＃16ソケットコンタクト
電極材質 コバール
電極太さ φ1.57

※オプションの大気側コネクタと定格電圧が異なりますのでに注意下さい。

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