ヘリウムリークディテクタ（リークテスト）

ヘリウムリークディテクタ HELENシリーズ

M-212LD（-D）

  • 各種真空装置の検査、フィールドサービスに最適
  • 小型の各種真空部品のリークテスト

M-222LD

  • 各種真空装置の保守保全
  • 加速器等の大型の各種真空容器のリークテスト
  • リークシステムのアナライザ

M-222LD-D

  • クリーンルーム対応
  • オイルフリーリークテストが可能
  • 各種真空装置の保守保全

M-232LD

  • ガス供給システム、真空部品、配管部品のリークテスト
  • 自動車部品、空調冷凍機のリークテスト
  • 食品、医療品のパッケージのリークテスト
  • 水道、各種ガス配管のリークテスト

コンポーネント

特長

  1. イージーオペレーション
    ボタン操作1つで機器の立ち上げから測定までが可能
  2. 業界最高レベルの感度、安定性、応答性を実現
    10-12 Pa･m3/sの高感度と長時間の使用に対しても高い安定性を実現
  3. イージキャリー
    可搬に便利な大型キャスタ、ハンドル等フィールドサービスを目的とした利用にも対応可能
  4. 耐久性を重視した堅牢設計
    長寿命タングステンフィラメントを採用することにより、長期間、高感度測定が行えます。また、24時間稼働のシステムへの搭載を前提に各部を堅牢な設計

仕様

標準タイプ

型名 M-212LD M-212LD-D M-222LD M-222LD-D M-232LD
バージョン コンパクト コンパクトドライ ハイパワー ハイパワードライ スニファー
定量測定範囲
（Pa･m3/sec）		 10-12 ～ 10-3 10-6 ～ 10-1
（10-2 ～ 105 ppm）
インレットポート
排気速度
（対He、L/sec）		 Gross
Mode		 0.5 ― 1.8 2.0 プローブ吸引速度
0.3 Pa・m3/sec
Middle
Mode		 2.0 1.0（Middle2）
4.0（Middle1）		 2.0 2.0
Fine
Mode		 ― 7.0 ― ―
インレットポート形状 NW25（ISO） スニファープローブ
メインポンプ 種類 ターボ分子ポンプ
排気速度 50 L/s 70 L/s 50 L/s
粗引きポンプ 種類 油回転ポンプ ダイヤフラムポンプ 油回転ポンプ スクロール
ドライポンプ		 油回転ポンプ
排気速度 30 L/min 15 L/min 236 L/min 250 L/min 30 L/min
＋ダイヤラムポンプ
外部インターフェイス RS-232C
Analog出力（2点）・標準 I/O
表示器 4.1インチカラー液晶
スニファープローブ オプション
（型名：981-9370）		 オプション
（別途相談）		 オプション
（型名：981-9371）		 標準
所要電力 AC 100-120 V 8 A AC 100-120 V, 6.3 A AC 100 V 15 A AC 100 - 120 V 15 A
AC 200 - 240 V 10 A		 AC 100 - 120 V 8 A
外形寸法
（W×H×D）（mm）		 435×487×364 462×867×715 435×470×363
質量（kg） 42 39 85 42

高感度タイプ・大容量粗引きタイプ

型名 M-222LD-H M-222LD-D-H M-222LD-D-H500
バージョン 高感度ハイパワー 高感度ハイパワードライ ハイパワードライ500
定量測定範囲
（Pa･m3/sec）		 10-13 ～ 10-3 10-12 ～ 10-3
インレットポート
排気速度
（対He、L/sec）		 Gross
Mode		 1.8 2.0 3.5
Middle
Mode		 4.0 4.0 4.0
Fine
Mode		 7.0 7.0 7.0
インレットポート形状 NW25（ISO）
メインポンプ 種類 ターボ分子ポンプ
排気速度
（L/sec）		 70
粗引きポンプ 種類 油回転ポンプ スクロール
ドライポンプ		 マルチルーツ
ドライポンプ
排気速度
（L/min）		 236 250 500
外部インターフェイス RS-232C
Analog出力（2点）・標準 I/O
表示器 4.1インチカラー液晶
スニファープローブ オプション
（型名：981-9371）		 ―
所要電力 AC 100 V 15 A AC 100 - 120 V 15 A
AC 200 - 240 V 10 A		 AC 100 - 120 V 8 A
外形寸法
（W×H×D）（mm）		 462×867×715
質量（kg） 85

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