四重極型質量分析計（トランスデューサタイプ）

M-101QA-TDF、M-101/201QA-TDMは高感度・高機能で低ガス放出を実現したPC制御専用の四重極型質量分析計です。
M-070QA-TDFは各種真空装置の残留ガスモニタに最適な、低価格版です。

コンポーネント

特長

  1. 高感度
    ・検出器に2次電子増倍管を使用（M-101/201QA-TDM）
  2. 低ガス放出分析管
    ・低ガス放出のイオン源を採用
    ・デガス機能有り（※1）
  3. 優れた基本性能―高度な分析に対応―
    ・イオン化電圧、エミッション電流の細かい設定が可能（※1）
    ・広いダイナミックレンジ

※１：M-070QA-TDFは対象外

用途

  • 残留ガスモニタ、加速器等の真空モニタ、無機ガス分析、昇温脱離ガス分析、等

仕様

機種名 標準モデル 高感度モデル
M-070QA-TDF M-101QA-TDF M-101QA-TDM M-201QA-TDM
基本
性能		 測定質量数範囲 1～70 m/z 1～100 m/z 1～100 m/z 1～200 m/z
分解能 M/ΔM≧2M
感度
（N2）		 FC 1.5×10-6 A/Pa以上 7.0×10-6 A/Pa以上 － －
SEM － 2.5 A/Pa以上 1.8 A/Pa以上
最小検知分圧 6.7×10-9 Pa以下 5.0×10-10 Pa以下 1.0×10-12 Pa以下 1.0×10-12 Pa以下
動作圧力 1.3×10－2 Pa以下
ダイナミックレンジ 6桁 7桁
仕様 検出器 FC ○ ○ ○ ○
EM － ○ ○
イオン源 カゴ型 カゴ型（オプション:箱型※1）
フィラメント イットリアコートイリジウム2本 イットリアコートイリジウム2本
オプション:タングステン※1
ベーク温度 250 ℃（分析管のみ）
デガス機能 － エレクトロンボンバード
接続フランジ φ70ICF
定格入力電圧 AC100 V ～ AC240 V
最大消費電力 60 W 90 W
質量 分析管 1.5 kg 1.4 kg 1.6 kg
コントローラ 2.1 kg 2.2 kg
通信インターフェイス RS-232C/485
標準ソフト QUADVISION3 Windows7, 8.1, 10, 11対応
対応 CEマーキング、RoHS

※1）オプションに関する仕様は別途お問い合わせ下さい。

ダウンロード

CADデータのダウンロードは、ユーザー登録(無料)していただいたお客さまに限らせていただいております。
こちらのフォームからお申し込みください。
後日担当者よりダウンロード用ID・パスワードをご連絡させていただきます。

お問い合わせ

フォームからのお問い合わせ 四重極型質量分析計（トランスデューサタイプ） お電話からのお問い合わせ コンポーネント販売拠点へのお問い合わせ