四重極型質量分析計（高速測定／高感度測定）

CEマーキング RoHS

質量数１ ～ 410 m/zまで測定が可能な高性能・高機能の四重極型質量分析計です。

M-401QA-MGSY/MUSYは、汎用型質量分析計として、10倍（当社比）の高速測定を実現しました。

コンポーネント

特長

  1. 高速測定対応（M-401QA-MGSY/MUSY）
    M/e＝1 ～ 400 m/zを1秒間隔でデータ取得
  2. 2種類のイオン源
    UHV型（かご型）、ガス導入型（箱型）の選択が可能
  3. 高感度（M-401QA-MGHY/MUHY）
    8桁のダイナミックレンジ
  4. 低ガス放出分析管
    低ガス放出のイオン源を採用、デガス機能有り

用途

  • 加速器真空ガスモニタ
  • 無機ガス分析
  • 熱天秤放出ガス分析
  • 昇温脱離ガス分析
  • 微量ガス分析
  • PFCガス分析

仕様

機種名
 
 		 高速型 高感度型
M-401QA-MGSY M-401QA-MUSY M-401QA-MGHY M-401QA-MUHY
基本
性能		 質量数
 		  1～410 m/z
分解能  M/ΔM≧2M
感度
（N2）		 SEM  4.0×10-1 A/Pa  4.0 A/Pa  4.0×10-1 A/Pa  4.0 A/Pa
最小検知分圧  ≦5.0×10-12 Pa  ≦1.0×10-12 Pa
最大動作圧力  1.3×10-2 Pa以下
ダイナミックレンジ  7桁  8桁  7桁
（高速時）  5桁  －  －
仕様 イオン源形状  ガス導入型（箱型） UHV型（カゴ型）  ガス導入型（箱型）  UHV型（カゴ型）
フィラメント種類  イットリアコートイリジウム※1
ベーク温度  300 ℃（分析管のみ）
デガス機能  イオンソースヒータ  エレクトロンボンバード  イオンソースヒータ  エレクトロンボンバード
掃引速度  1 ms/amu～  10 ms/amu～
接続フランジ  φ114ICF
定格入力電圧  AC100 V ～ AC240 V
最大消費電力  300 W
質量
 		 分析管  5.1 Kg
コントローラ  6.2 Kg
通信インターフェイス  RS-485/USB
標準ソフト  QUADVISION3 Windows7, 8.1, 10, 11対応
対応  RoHS

※1）フィラメントの素材はオプションがございます。別途お問い合わせ下さい。

ダウンロード

CADデータのダウンロードは、ユーザー登録(無料)していただいたお客さまに限らせていただいております。
こちらのフォームからお申し込みください。
後日担当者よりダウンロード用ID・パスワードをご連絡させていただきます。

お問い合わせ

フォームからのお問い合わせ 四重極型質量分析計（高速測定／高感度測定） お電話からのお問い合わせ コンポーネント販売拠点へのお問い合わせ