POWER/POWERECOシリーズクライオポンプ

POWER / POWERECO シリーズクライオポンプシステムは、各種ユニットの組み合わせにより、研究開発装置から量産装置まで幅白い用途に他応が可能です。
POWERシリーズ（スタンダードシステム）は、温度モニタを用いたシンプルで使いやすい構成で、CRYONAVIコントローラとの組み合わせでは自動再生が可能となります。
POWERECOシリーズ（エコシステム）は、独自の制御システムにより、消費電力の削減やメンテナンス時期の延⾧により、維持コストを低減し、SDGsの達成に貢献します。

【重要】
輸出・移転・処分に関する注意

大口径クライオポンプを日本国外へ輸出する際は、外国為替および外国貿易法に基づ判定が必要となる場合がありますので、弊社営業部門までお問合せください。​
又、国内移転・処分の際も同様に判定を行い、移転・処分先に該非判定結果をご連絡願います。

コンポーネント

特長

  • POWER シリーズ
    1. 冷凍機の自己発熱機能により、ヒーターレスで安全な高速再生を実現
    2. 冷却時（20Kまで）は高速冷却運転により、冷凍機を高速運転し短時間で冷却します。
    3. 振動加速度の平均値が従来品に比べ約10分の1以下の低振動（当社比）
  • POWERECO シリーズ
    1. スタンダードシステムでは、8インチは5台、10インチでも4台のマルチ運転が可能。
      消費電力および冷却水量を15～70％低減可能な省エネ・省資源に有効
    2. 再生・起動時間が従来に比べ半分以下（当社比）
    3. 実質的なアルゴン排気容量を1.5～4倍と大幅に向上（当社比）

用途

  • 半導体製造装置（スパッタ装置、イオン注入装置）
  • 電子部品製造装置
  • 真空蒸着装置
  • 真空炉、スペースチャンバ
  • 加速器
  • 各種高真空装置

仕様

POWERシリーズクライオポンプ性能仕様

ポンプ型名 P-080C P-081C P-081CL P-082C P-083C P-100C P-100CL P-101C P-101CL P-120C P-120CL P-121C P-121CL P-122C 備考
口 径 8 インチ 8 インチ 8 インチ 8 インチ 8 インチ 10 インチ 10 インチ 10 インチ 10 インチ 12 インチ 12 インチ 12 インチ 12 インチ 12 インチ
形 状 縦型 縦型 横型 縦型 縦型 縦型 横型 縦型 横型 縦型 横型 縦型 横型 縦型  
排気速度（L/s） 窒素 1,500 1,500 1,500 1,500 1,500 2,400 2,400 2,400 2,400 4,000 4,000 4,000 4,000 4,000  
アルゴン 1,300 1,300 1,300 1,300 1,300 2,000 2,000 2,000 2,000 3,200 3,200 3,200 3,200 3,200  
水素 1,000 2,500 2,200 1,000 1,000 3,000 3,000 3,800 3,700 3,600 3,000 6,000 5,000 3,000  
水 4,500 4,500 4,500 4,500 4,500 7,100 7,100 7,100 7,100 9,800 9,800 9,800 9,800 9,800  
最大排気流量（Pa･m3/s） 1.5 1.2 1.2 1.5 1.5 1.0 1.0 1.0 1.0 1.0 1.0 1.0 1.0 1.0 アルゴン
最大ガス瞬間許容量（Pa･m3） 18.0 18.0 18.0 18.0 18.0 18.0 18.0 18.0 18.0 18.0 18.0 18.0 18.0 18.0  
冷却時間（分） 45 50 65 45 50 70 80 70 80 60 90 70 100 60 ＊1
昇温時間（分） 30 30 30 30 35 35 40 35 45 35 40 40 50 35 ＊1
再生時間（分） 75 ＋α 80 ＋α 95 ＋α 75 ＋α 85 ＋α 105 ＋α 120 ＋α 105 ＋α 125 ＋α 95 ＋α 130 ＋α 110 ＋α 150 ＋α 95 ＋α ＊1
排気容量
（Pa･m3）		 アルゴン 80,000 80,000 80,000 150,000 190,000 160,000 140,000 160,000 140,000 260,000 200,000 260,000 200,000 400,000 ＊2
水素 1,300 1,800 1,600 1,300 1,300 1,600 1,300 2,000 1,800 1,600 1,400 2,400 2,200 1,600  
到達温度（Ｋ） 15 以下  
到達圧力（Pa） 10-7台  
最大加熱温度（℃） 70  
環境温度範囲（℃） 10 ～ 35  
推奨メンテナンス時間（h） 16,000 以内毎  
質量（kg） 20 21 22 23 24 25 27 25 27 29 30 29 30 30  
運転台数（台） E-77NL 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 ＊3

＊ 1）冷却時間（20K まで）は高速冷却運転により、昇温時間は吸蔵ガスなしでパージガス導入+ 自己発熱機能使用時の値です。
　　　再生時間の「＋α 」は、粗引き等に要する時間です。

＊ 2）排気容量は当社独自の評価方法によるもので、実際に装置で使用した場合に相当する実用的な値です。

＊ 3）ポンプへの入熱負荷量によります。
　※本仕様値はポンプ単体での値です。真空装置搭載時の値は、設置環境のガス放出や熱負荷などの影響を受けます。
　　 本仕様は、製品の改良等のため予告なく変更する場合があります。

小型POWERECOシリーズクライオポンプ性能仕様

ポンプ型名 P-085C P-086C P-086CL P-087C P-105C P-105CL P-106C P-106CL P-107C 備考
口 径 8 インチ 8 インチ 8 インチ 8 インチ 10 インチ 10 インチ 10 インチ 10 インチ 10 インチ
形 状 縦型 縦型 横型 縦型 縦型 横型 縦型 横型 縦型  
排気速度（L/s） 窒素 1,500 1,500 1,500 1,500 2,400 2,400 2,400 2,400 2,200  
アルゴン 1,300 1,300 1,300 1,300 2,000 2,000 2,000 2,000 1,600  
水素 1,000 2,500 2,200 1,000 3,000 3,000 3,800 3,700 2,600  
水 4,500 4,500 4,500 4,500 7,100 7,100 7,100 7,100 7,100  
最大排気流量（Pa･m3/s） 1.2 1.2 1.1 1.2 1.0 1.0 1.0 1.0 1.0 アルゴン
最大ガス瞬間許容量（Pa･m3） 18.0 18.0 18.0 18.0 18.0 18.0 18.0 18.0 18.0  
冷却時間（分） 60 65 80 60 75 90 85 100 120 ＊1
昇温時間（分） 40 40 45 40 45 50 45 50 50
再生時間（分） 100 ＋α 105 ＋α 125 ＋α 100 ＋α 120 ＋α 140 ＋α 130 ＋α 150 ＋α 170 ＋α
排気容量
（Pa･m3）		 アルゴン 80,000 80,000 80,000 150,000 160,000 140,000 160,000 140,000 300,000 ＊2
水素 1,300 1,800 1,600 1,300 1,600 1,300 2,000 1,800 1,600  
到達温度（Ｋ） 15 以下  
到達圧力（Pa） 10-7台  
最大加熱温度（℃） 70  
環境温度範囲（℃） 10 ～ 35  
推奨メンテナンス時間（h） 16,000 以内毎（エコシステムでは延長されます）  
質量（kg） 22 22 22 23 25 27 24 25 29  
運転台数（台） E-77NL 5 5 5 5 5 5 5 5 5 ＊3
CSW-61CN2 6 6 6 6 4 4 4 4 4

中型・大型POWERECOシリーズクライオポンプ性能仕様

ポンプ型名 P-128C P-128CL P-160C P-160CL P-161C P-161CL P-206C P-226C 備考
口 径 12 インチ 12 インチ 16 インチ 16 インチ 16 インチ 16 インチ 20 インチ 22 インチ
形 状 縦型 横型 縦型 横型 縦型 横型 縦型 縦型  
排気速度（L/s） 窒素 4,000 4,000 7,500 6,800 7,500 6,800 13,000 17,000  
アルゴン 3,200 3,200 6,300 5,700 6,300 5,700 9,000 11,000  
水素 6,000 5,000 5,500 5,000 11,000 10,000 17,000 23,000  
水 9,800 9,800 19,000 19,000 19,000 19,000 30,000 39,000  
最大排気流量（Pa･m3/s） 2.2 2.2 2.2 2,2 2.0 2.2 3.0 2.7 アルゴン
最大ガス瞬間許容量（Pa･m3） 40 40 50 50 50 50 80 133  
冷却時間（分） 110 115 70 95 90 120 100 120 ＊1
昇温時間（分） 70 70 40 60 60 60 80 80
再生時間（分） 180 ＋α 185 ＋α 110 ＋α 155 ＋α 150 ＋α 180 ＋α 180 ＋α 200 ＋α
排気容量
（Pa･m3）		 アルゴン 270,000 200,000 400,000 200,000 400,000 200,000 650,000 1,000,000 ＊2
水素 4,000 3,500 1,600 1,400 3,400 3,000 7,500 7,500  
到達温度（Ｋ） 15 以下  
到達圧力（Pa） 10-7台  
最大加熱温度（℃） 70  
環境温度範囲（℃） 10 ～ 35  
推奨メンテナンス時間（h） 16,000 以内毎（エコシステムでは延長されます）  
質量（kg） 37 39 50 62 50 62 67 87  
運転台数（台） E-77NL 2 2 2 2 2 2 1 1 ＊3
CSW-61CN2 2 2 2 2 2 2 1 1

＊ 1）冷却時間（20K まで）は高速冷却運転により、昇温時間は吸蔵ガスなしでパージガス導入 + 自己発熱機能使用時の値です。再生時間の「＋α」は、粗引き等に要する時間です。
＊ 2）排気容量は当社独自の評価方法によるもので、実際に装置で使用した場合に相当する実用的な値です。
＊ 3）ポンプへの入熱負荷量によります。
※本仕様値はポンプ単体での値です。真空装置搭載時の値は、設置環境のガス放出や熱負荷などの影響を受けます。
本仕様は、製品の改良等のため予告なく変更する場合があります。

【重要】
輸出・移転・処分に関する注意

大口径クライオポンプを日本国外へ輸出する際は、外国為替および外国貿易法に基づく判定が必要となる場合がありますので、弊社営業部門までお問合せください。又、国内移転・処分の際にも、移転・処分先にご留意願います。

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