エドワーズ真空ポンプ

ターボ分子ポンプと背圧ポンプを組み合わせた排気ユニットで、ボタン一つで始動から停止までを制御できます。

多段ドラッグステージを備えたマルチステージで高圧縮比を実現したハイブリッドペアリング（マグネットとセラミック）構造のターボ分子ポンプです。

独自のペアリングシールド構造による完全オイルフリーの実現で、水蒸気によるベアリング劣化防止、メンテナンスサイクルを長期化します。