エドワーズ真空ポンプ
ロータリーポンプ、スクロールポンプ、ターボ分子ポンプ等、低真空から高真空までのエドワーズ社製真空ポンプをラインナップしております、
ターボ排気ユニット T-Station 85
ターボ分子ポンプと背圧ポンプを組み合わせた排気ユニットで、ボタン一つで始動から停止までを制御できます。
ターボ分子ポンプ nEXTシリーズ
多段ドラッグステージを備えたマルチステージで高圧縮比を実現したハイブリッドペアリング（マグネットとセラミック）構造のターボ分子ポンプです。
スクロールポンプ nXDSシリーズ
独自のペアリングシールド構造による完全オイルフリーの実現で、水蒸気によるベアリング劣化防止、メンテナンスサイクルを長期化します。
小型ロータリーポンプ EM・RVシリーズ
排気速度15 L/minから500 L/minまでの幅広いレンジを揃え、独自オイル供給機構等により振動・騒音が抑制されます。
コンポーネント
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