イオンポンプ・ノーブルポンプ

特長

1. 完全オイルフリー
   油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られる
2. 超高真空、極超真空
   イオンポンプ・ノーブルポンプは10^-1 Pa ～ 10^-9 Paの圧力範囲で動作しますので極高真空の作成に最適
3. 無人運転
   運転に必要なのは電力だけで、夜間の無人運転や遠隔操作に便利
4. 不活性ガスの排気（ノーブルポンプ）
   二極型イオンポンプに比べ、不活性ガスの排気速度が大きくなっています（アルゴンで空気の約21 ％）

用途

• 完全オイルフリーの超高真空及び極高真空排気系
• 電子顕微鏡、表面分析装置
• 粒子加速器、核融合実験装置、宇宙環境試験装置
• 電子管などの真空保持ポンプ

仕様

20 L/sイオンポンプ・ノーブルポンプ

ポンプ	名称	20 L/s イオンポンプ	20 L/s ノーブルポンプ
	型名	912-7125	912-7120
	排気速度 （N2ガスに対して）	20 L/s
	動作範囲（注1）	10-1 ～ 10-9 Pa	1 ～ 10-9 Pa
	起動可能圧力（注1）	1.3 Pa以下	6.7 Pa以下
	内容積	1.4 L
	最大加熱温度	250 ℃
	吸入口	φ70ICF
	電流導入端子	交換不可
	素子（交換用）	交換不可
	マグネット	912-7121（1個）本体に含む
	質量	10.5 kg

30 L/sイオンポンプ・ノーブルポンプ

ポンプ	名称	30 L/s イオンポンプ	30 L/s ノーブルポンプ
	型名	912-7135	912-7130
	排気速度 （N2ガスに対して）	30 L/s
	動作範囲（注1）	10-1 ～ 10-9 Pa	1 ～ 10-9 Pa
	起動可能圧力（注1）	1.3 Pa以下	6.7 Pa以下
	内容積	2.2 L
	最大加熱温度	250 ℃
	吸入口	φ114ICF
	電流導入端子	954-7281
	素子（交換用）	交換不可
	マグネット	912-7121（1個）本体に含む
	質量	12.5 kg

60 L/sイオンポンプ・ノーブルポンプ

ポンプ	名称	60 L/s イオンポンプ	60 L/s ノーブルポンプ
	型名	912-7165	912-7160
	排気速度 （N2ガスに対して）	60 L/s
	動作範囲（注1）	10-1 ～ 10-9 Pa	1 ～ 10-9 Pa
	起動可能圧力（注1）	1.3 Pa以下	6.7 Pa以下
	内容積	6.2 L
	最大加熱温度	250 ℃
	吸入口	φ152ICF
	電流導入端子	954-7281
	素子（交換用）	915-7027（1組）	915-9527（1組）
	マグネット	912-7121（2個）本体に含む
	質量	25.6 kg

110 L/sノーブルポンプ・140 L/sイオンポンプ

ポンプ	名称	110 L/s ノーブルポンプ	140 L/s イオンポンプ
	型名	912-7020	912-7010
	排気速度 （N2ガスに対して）	110 L/s	140 L/s
	動作範囲（注1）	1 ～ 10-9 Pa	10-1 ～ 10-9 Pa
	起動可能圧力（注1）	6.7 Pa以下	1.3 Pa以下
	内容積	18 L
	最大加熱温度	250 ℃
	吸入口	φ203ICF
	電流導入端子	954-7281
	素子（交換用）	915-9520（1個）	915-9510（1個）
	マグネット	912-7001（1個）本体に含む
	質量	48 kg

220 L/sノーブルポンプ

ポンプ	名称	220 L/sノーブルポンプ
	型名	912-7040	912-7041
	排気速度 （N2ガスに対して）	220 L/s
	動作範囲（注1）	5×10-1 ～ 10-9 Pa
	起動可能圧力（注1）	3.4 Pa以下
	内容積	26 L	28 L
	最大加熱温度	250 ℃
	吸入口	φ203ICF
	電流導入端子	954-7281
	素子（交換用）	915-9510（2個）
	マグネット	912-7002（1個） 本体に含む	912-7001（2個） 本体に含む
	質量	85 kg	90 kg

270 L/sイオンポンプ

ポンプ	名称	270 L/sノーブルポンプ
	型名	912-7030	912-7031
	排気速度 （N2ガスに対して）	270 L/s
	動作範囲（注1）	5×10-2 ～ 10-2 Pa
	起動可能圧力（注1）	6.5×10-1 Pa以下
	内容積	26 L	28 L
	最大加熱温度	250 ℃
	吸入口	φ203ICF
	電流導入端子	954-7281
	素子（交換用）	915-9510（2個）
	マグネット	912-7002（1個） 本体に含む	912-7001（2個） 本体に含む
	質量	85 kg	90 kg

400 L/sノーブルポンプ・500 L/sイオンポンプ

ポンプ	名称	400 L/s ノーブルポンプ	500 L/s イオンポンプ
	型名	912-7060	912-7050
	排気速度 （N2ガスに対して）	400 L/s	500 L/s
	動作範囲（注1）	1 ～ 10-9 Pa	10-1 ～ 10-9 Pa
	起動可能圧力（注1）	6.7 Pa以下	1.3 Pa以下
	内容積	38 L
	最大加熱温度	250 ℃
	吸入口	φ203ICF
	電流導入端子	954-7281
	素子（交換用）	915-9520（4個）	915-9510（4個）
	マグネット	912-7002（2個）本体に含む
	質量	120 kg

800 L/sノーブルポンプ・1000 L/sイオンポンプ

ポンプ	名称	800 L/s ノーブルポンプ		1000 L/s イオンポンプ
	型名	912-9110	912-7190	912-9100	912-7195
	排気速度 （N2ガスに対して）	800 L/s		1000 L/s
	動作範囲（注1）	10-2 ～ 10-9 Pa		10-3 ～ 10-9 Pa
	起動可能圧力（注1）	1.3×10-1 Pa以下		1.3×10-2 Pa以下
	内容積	106 L
	最大加熱温度	250 ℃
	吸入口	φ326CS フランジ	φ356ICF	φ326CS フランジ	φ356ICF
	電流導入端子	954-7281
	素子（交換用）	912-9520（8個）		915-9510（8個）
	マグネット	912-7003（2個）本体に含む
	質量	257 kg

イオンポンプ・ノーブルポンプ制御装置

制御電源	名称		イオンポンプ制御電源		ノーブルポンプ制御電源
	型名		P-511 IP	P-521 IP	P-511 NP	P-521 NP
	対応ポンプ		全てのイオンポンプ		全てのノーブルポンプ、 コンビネーションポンプ
	最大出力電圧		DC+5.2 kV ± 10% / DC+7.5 kV ± 10% / DC+3.5 kV ± 10% プログラムモードでの切換式		DC-5.2 kV ± 10% / DC-7.0 kV ± 10% プログラムモードでの切換式
	最大出力電流		43 mA以上	170 mA以上	43 mA以上	170 mA以上
			1 L/s及び 8 L/sの場合は約 20 mAに制限
	入力電圧		AC100 ～ 240 V 50/60 Hz 単相 (マルチ電圧入力)
	消費電力		最大 約500 VA
	外形寸法		W209 × H99 × D370 mm (1/2 ラックサイズ)
	質量		約6 kg (オプションボード未装着)
	使用温度 / 湿度		0 ～ 40℃ / 85% RH 以下 (結露無きこと)
	使用環境		屋内使用 / 標高 2000 m 以下 / 汚染度 : 2 / 設置カテゴリー :Ⅱ
	表示範囲	出力電圧	0.1 × 103 V (0.1 kV) ～ 8.0 × 103 V (8.0 kV)
		出力電流	0.1 × 10-7 A (10 nA) ～ 5.0 × 10-1 A (500 mA)
		圧力	1.1 ×10-9 ～ 1.0 × 10-3 Pa (接続するポンプにより表示範囲が変わります) 1L/s 及び 8L/s の場合、表示機能無し		1.1 ×10-9 ～ 1.0 × 10-3 Pa (接続するポンプにより表示範囲が変わります)
	保護機能		各種保護機能有り　保護機能動作時は表示部にエラーと番号表示
	圧力接点		1μA ～ 99 mAの範囲で2点設定可能
	REMOTE モード		前面パネルの REMOTE スイッチにて REMOTE / LOCAL の切換が可能
	対応		CEマーキング、RoHS

外形寸法図