ピラニゲージ（Niフィラメント） M-351PG

CEマーキング RoHS

Niフィラメントを採用し、耐蝕性を向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。

型　名	M-351PG-SP （Ｎｉフィラメント仕様）（セットポイント付タイプ）
測定圧力範囲	5×10^-2～ 1×10⁵（Pa）
精度（Pa）	±50％：5×10^-2　～　1×10^-1 ±15％：1×10^-1　～　1×10⁴ ±50％：1×10⁴　～　1×10⁵
再現性	±2 ％　：　1×10^-1　～　1×10⁴Pa
入力電圧	DC+14 ～ 30 V
消費電力	2 W
アナログ出力	0 ～ 10 V
ゲージ認識抵抗値	13 KΩ（D-sub5-9番ピン間）
セットポイント	2接点出力（1 A 30 V,DC）
インターフェース	－
入出力コネクタ	D‐sub9ピン
最大ケーブル長	200 ｍ（0.34 mm²）対応可能^＊1
使用温度範囲	5 ～ 60 ℃
保存温度範囲	-20 ～ 70 ℃（非動作時）
ベーキング温度	＜＋150 ℃（Oリング仕様、ゲージヘッドのみ）＜＋300 ℃（メタルシール仕様、ゲージヘッドのみ）
許容過負荷圧力	1 MPa（継手形状NPTに限る、不活性ガスに限る、絶対圧）
適合ピラニセンサ型名	MP-2
フランジ形状	NW16、NW25、1/8NPT
センサー材質（主要部）	ピラニフィラメント：ニッケルセンサーチューブ：ステンレス導入端子絶縁部：コバールガラス＋Al₂O₃コート
対応	CEマーキング、RoHS、IP40

＊1）M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100ｍとなります。

外形寸法図

ダウンロード

取扱説明書のダウンロードは、ユーザー登録(無料)していただいたお客さまに限らせていただいております。
こちらのフォームからお申し込みください。
後日担当者よりダウンロード用ID・パスワードをご連絡させていただきます。

CADデータのダウンロードは、ユーザー登録(無料)していただいたお客さまに限らせていただいております。
こちらのフォームからお申し込みください。
後日担当者よりダウンロード用ID・パスワードをご連絡させていただきます。