イオンゲージ（熱陰極電離真空計）M-311HG
トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。イオンゲージ（熱陰極電離真空計）は再現性、リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。センサーは実績のあるミニチュアゲージ（MG-2Iタイプ）を使用しています。
コンポーネント
特長
- ワイドな圧力測定範囲
10-7 Pa ～ 10 Paまで、超高真空側の特性を犠牲にすることになく、スパッタプロセスを超える低真空領域まで測定可能 - 高応答アナログ出力
圧力値のアナログ信号出力は、100 msec以内と高い応答性を確保し、プロセス圧力コントロールにも使用可能 - 4つのエミッション電流設定モード
高圧力領域側での使用時のフィラメント寿命改善など、用途に合わせ選択が可能
用途
- 生産用真空装置の圧力測定
- 半導体スパッタリング装置の圧力測定
- 各種真空装置
オプション
- シリーズ対応表示器を用意しています。
大型デジタルＬＣＤで見やすく操作性も大幅に向上
用途に合わせて1ch タイプと3ch タイプを選択
仕様
| 型 名 | イオンゲージ | |
|---|---|---|
| M-311HG‐SP | M-311HG‐RS | |
| 圧力測定範囲 | 1×10-7 ～ 10 Pa | |
| 入力電圧 | DC20 ～ 28 V | |
| 消費電力 | 12 W | |
| アナログ出力 | 0 ～ 10 V | － |
| セットポイント | 2点リレー出力 | |
| インターフェース | － | RS485 |
| 入出力コネクタ | Dsub-9（Male） | |
| 最大ケーブル長 | 200 m（1 mm2） | |
| 使用温度範囲 | 5 ～ 50 ℃ | |
| 保存温度範囲 | -20 ～ 70 ℃ | |
| センサ－型名 | ミニチュアB-Aゲージ（MG-2Iシリーズ） | |
| センサー材質（主要部） | フィラメント:Y2O3/Ir、ケース:SUS304 | |
| 外形寸法 （mm） | 110×70×50 | |
| フランジ形状 | NW16, NW25, ICF34, ICF70 | |
| 対応 | CEマーキング、RoHS、IP40 | |
外形寸法図
