クリスタルイオンゲージ M-336MX（真空計）
低真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつクリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュアB-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定できます。
コンポーネント
特長
- クリスタルゲージとミニチュアB-Aゲージを組み合わせたコンビネーションゲージ
- 超高真空から大気圧
- 高精度、低真空領域において優れた再現性
用途
- 真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の圧力測定など
仕様
| 型 名 | クリスタルイオンゲージ | |
|---|---|---|
| M-336MX-SP セットポイント付タイプ |
M-336MX-RS RS485タイプ |
|
| 圧力測定範囲※1 | 4×10-8 ～ 1×105 （Pa） | |
| 入力電圧 | DC+20 ～ 28 V | |
| 消費電力 | 12 W | |
| アナログ出力 | 0 ～ 10 V | － |
| セットポイント | 2点出力 | |
| インターフェース | － | RS485 |
| 入出力コネクタ | D‐sub9ピン | |
| 最大ケーブル長 | 300 m（1 mm2）※3 | |
| 保護規格 | IP40対応 | |
| 使用温度範囲※2 | 5 ～ 50 ℃ | |
| 保存温度範囲※2 | -20 ～ 70 ℃（非動作時） | |
| センサ－型名 | MX-1 | |
| センサー材質（主要部） | フィラメント：Y2O3/Ir、ケース：SUS304 | |
| 外形寸法（mm） | 149×70×50（NW25） | |
| フランジ形状 | NW16、NW25、NW40、φ70ICF | |
| 対応 | CEマーキング、RoHS、IP40 | |
※1.測定下限圧力はB-Aゲージの軟X線限界を示します。
測定下限圧力
ICF ：10-7Pa台
NW ：10-6Pa台
※2.高温での使用及び保存は寿命低下の原因となります。
※3.M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100ｍとなります。
外形寸法図
