クリスタルイオンゲージ M-338MX

CEマーキング RoHS

低真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつクリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュアB-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定できます。

コンポーネント

特長

  1. クリスタルゲージとミニチュアB-Aゲージを組み合わせたコンビネーションゲージ
  2. 超高真空から大気圧まで測定可能です
  3. 高精度、低真空領域において優れた再現性

用途

  • 真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の圧力測定など

仕様

型　名 クリスタルイオンゲージ
M-338MX-SP
セットポイント付タイプ		 M-338MX-RS
RS485タイプ
圧力測定範囲※1 4×10-8 ～ 1×105 （Pa）
入力電圧 DC+20 ～ 28 V
消費電力 12 W
アナログ出力 0 ～ 10 V －
セットポイント 2点出力
インターフェース － RS485
入出力コネクタ D‐sub9ピン
最大ケーブル長 300 m（1 mm2）※3
保護規格 IP40対応
使用温度範囲※2 5 ～ 50 ℃
保存温度範囲※2 -20 ～ 70 ℃（非動作時）
センサ－型名 MX-3
センサー材質（主要部） フィラメント：Y2O3/Ir、ケース：SUS304
外形寸法（mm） 149×70×50（NW25）
フランジ形状 NW16、NW25、NW40、φ70ICF
対応 CEマーキング、RoHS、IP40

※1.測定下限圧力はB-Aゲージの軟X線限界を示します。
    測定下限圧力
     ICF　：10-7Pa台
     NW　：10-6Pa台
※2.高温での使用及び保存は寿命低下の原因となります。
※3.M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100ｍとなります。

外形寸法図

外形寸法図

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