ワイドレンジ電離真空計 M-833HG

CEマーキング RoHS

M-833HGは、ミニチュアB-Aゲージ専用のコントロールユニットです。オプションにて、多用なゲージ、データ出力等に対応する拡張ボードが用意されています。ミニチュアB-AゲージとTCゲージ（オプション）のコンビネーション及び、ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、大気圧～超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。高真空～超高真空装置搭載に最適です。

コンポーネント

特長

  1. 豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能
  2. セットポイントを2点標準装備
  3. 最大4ヶのオプションボード取付け可能で機能拡張性が充実
    （注記：GP-IBオプションには未対応）
  4. CEマーキング、RoHSに対応

用途

  • 自動化真空装置の圧力計測
  • スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
  • マルチチャンバシステムでの圧力測定
  • 一般真空装置の圧力測定

仕様

型　名 M-833HG
測定球 ミニチュアゲージMG-2シリーズ
圧力表示範囲 0.1×10-7 ～ 1.32×101 Pa ※1
圧力表示 測定レンジ自動切換
セットポイント 2点標準装備（オープンコレクタ）
D/A出力 0 ～ 10 V：仮数部出力、指数部出力
0 ～ 11 V：複合出力又はLog出力
アナログ出力
（エレクトロメータ出力）		 APCモード設定時（0.1 ～ 2.5 V）
ノーマルモード設定時（0.1 ～ 1.6 V）
外部制御機能
（リモート操作）		 INPUT フィラメントON/OFF
デガスON/OFF
等6種類の外部制御機能
  OUTPUT 6種類のステータス信号出力
特殊機能 APC対応：レンジホールド機能
エレクトロメータ出力機能
外形寸法（mm）・質量 H99×W209×D330、1.9 kg（オプションボード未装着時）
所要電力 100 ～ 240 VAC ※2
100 VA以下、50／60 Hz
エミッション電流 10 μA、100 μA、1 mA自動切換設定または固定設定
ガス出し グリッド通電加熱方式
フィラメント切換 キー及び、リモートI/O操作
フィラメント保護 オーバーレンジ設定値またはエミッション電流±50%の変動
標準構成 真空計本体（測定球及びケーブルは構成品に含まれません）
対応 CEマーキング、RoHS

※1 測定範囲は測定球MG-2の項をご参照ください。
※2 M-833HGに付属されるACケーブルは100V仕様です。200Vでご使用される場合は別途ご相談ください。

外形寸法図

外形寸法図

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