電離真空計 M-723HG、M-823HG、M-923HG

多様なゲージに対応する豊富な拡張ボードを備えた最も一般的なB-A型電離真空計シリーズです。
真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能やレンジホールド機能を標準で備えています。CC-Linkで通信制御を行えるタイプも用意してあります。
M-823HGで大気圧から高真空領域までを1台で高精度にカバーします。

コンポーネント

特長

  1. 圧力レンジは自動切換
  2. 圧力及び種々のメッセージが液晶表示
  3. 豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能
  4. セットポイントを2点標準装備

用途

  • 自動化真空装置の圧力測定
  • スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
  • マルチチャンバシステムでの圧力測定
  • 一般真空装置の圧力測定

仕様

型　名 M-723HG M-823HG M-923HG
測定球 UGD-1S B-Aゲージ球 BRG-1BワイドレンジB-Aゲージ球 NIG-2F/NIG-2TF
ヌードイオンゲージ球
圧力測定
レンジ（Pa）		 5レンジ自動切換
10-2、10-3、10-4、10-5、10-6		 7レンジ自動切換
10-0、10-1、10-2、10-3、10-4、10-5、10-6		 8レンジ自動切換
10-2、10-3、10-4、10-5、10-6、10-7、10-8、10-9
測定レンジ切換 自動切換え（レンジホールド可）
ガス出し グリッド通電加熱方式 電子衝撃方式
フィラメント切換 前面パネルと外部制御入力により切換可（M823HGを除く）
フィラメント保護 圧力、イオン電流、エミッション電流の変動幅のいずれかに問題があると自動的にOFFする。
アナログ出力 D/A出力（仮数部D/A出力、指数部D/A出力、複合D/A出力）
アナログ生出力（エレクトロメータ出力）
I/Oリモート INPUT フィラメントON/OFF入力
デガスON/OFF入力
フィラメントインヒビット入力
レンジホールド1入力
レンジホールド2入力
フィラメント切換入力
ゲージ1/2切換入力（ゲージセレクタオプション使用時）
  OUTPUT フィラメントON/OFF出力
デガスON/OFF出力
リモート/ローカル出力
セットポイント出力（2点）
ゲージ1/2セレクト出力（ゲージセレクタオプション使用時）
パワーON/OFF出力
フィラメント1/2出力
アラーム出力
セットポイント 2セットポイント標準装備（オープンコレクタ）
外形寸法（mm） H99×W209×D330
所要電力 AC100 V±10 ％2 A、50/60 Hz（AC115/200/230 Vにも対応可能）
質量 5.4 kg（オプションボード未装着時）
標準構成 真空計本体（測定球およびケーブルは構成品に含まれません）

外形寸法図

外形寸法図

ダウンロード

CADデータのダウンロードは、ユーザー登録(無料)していただいたお客さまに限らせていただいております。
こちらのフォームからお申し込みください。
後日担当者よりダウンロード用ID・パスワードをご連絡させていただきます。

お問い合わせ

フォームからのお問い合わせ 電離真空計 M-723HG、M-823HG、M-923HG お電話からのお問い合わせ コンポーネント販売拠点へのお問い合わせ