ミニチュアゲージ MG-2、MG-2M、MG-2F、MG-2WF（真空計）
ミニチュアゲージは金属製の小型ゲージ球です。
到達圧力からスパッタ等のプロセス圧力（1Pa台が測定可）までの圧力計測が1つのゲージで行なえます。
ゲージアダプタ（O-リング差込み式）に接続するタイプ。（φ15mm、φ18mm）
ＮＷ16・25、φ34ICF、φ70ICFタイプを揃えています。
コンポーネント
仕様
| 形 式 |
MG-2 | MG-2M | MG-2I/ NW16,25 |
MG-2I/ φ34ICF,φ70ICF |
MG-2F | MG-2WF | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ボディー材質 |
SUS304 | ||||||
| 測定上限圧力（注1） |
13 Pa | 1.3×10-1（注3） Pa | |||||
| 測定下限圧力（注2） | 10-6 Pa台 | 10-7 Pa台 | 1.0×10-5（注4） Pa台 | ||||
| 感度 | 0.045 Pa-1 | ||||||
| フィラメント | フィラメント2本内蔵 フィラメント材：イットリアコートイリジウム線 |
フィラメント2本内蔵 フィラメント材：タングステン |
|||||
| 測定球容積 | 約12 cc | ||||||
| 所要 電力 |
フィラメント グリッドデガス |
2.3 W 1.0 W |
2.5 W 1.0 W |
||||
| デガス方式 | グリッド通電 | ||||||
| 取り付け方法 | φ15ゲージアダプタまたは各種フランジに溶接可 | φ18ゲージアダプタ | NW25、NW16 | φ34ICF、φ70ICF | φ70ICFフランジに接続 | φ15ゲージアダプタまたは各種フランジに溶接可 | |
注1）リニアリティーの限界
注2）実用的に測定できる圧力の限界です。10-7Paの測定にはMG-2Fの使用を推奨いたします。
注3）但し、窒素やアルゴンガスのような不活性ガスでは13Paまで測定可能です。
注4）MG-2WFは、標準MG-2と比べ測定下限値が1桁高い値となります。
外形寸法図
各種フランジ取り付け例
