ミニチュアゲージ MG-2、MG-2M、MG-2F、MG-2WF

ミニチュアゲージは金属製の小型ゲージ球です。
到達圧力からスパッタ等のプロセス圧力（1Pa台が測定可）までの圧力計測が1つのゲージで行なえます。
ゲージアダプタ（O-リング差込み式）に接続するタイプ。（φ15mm、φ18mm）
ＮＷ16・25、φ34ICF、φ70ICFタイプを揃えています。

形　式		MG-2	MG-2M	MG-2I/ NW16,25	MG-2I/ φ34ICF,φ70ICF	MG-2F	MG-2WF
ボディー材質		SUS304
測定上限圧力^（注1）		13 Pa					1.3×10^-1（注3）Pa
測定下限圧力^（注2）		10^-6Pa台			10^-7Pa台		1.0×10^-5（注4）Pa台
感度		0.045 Pa^-1
フィラメント		フィラメント2本内蔵フィラメント材：イットリアコートイリジウム線					フィラメント2本内蔵フィラメント材：タングステン
測定球容積		約12 cc
所要電力	フィラメントグリッドデガス	2.3 W 1.0 W					2.5 W 1.0 W
デガス方式		グリッド通電
取り付け方法		φ15ゲージアダプタまたは各種フランジに溶接可	φ18ゲージアダプタ	NW25、NW16	φ34ICF、φ70ICF	φ70ICFフランジに接続	φ15ゲージアダプタまたは各種フランジに溶接可

注1）リニアリティーの限界
注2）実用的に測定できる圧力の限界です。10^-7Paの測定にはMG-2Fの使用を推奨いたします。
注3）但し、窒素やアルゴンガスのような不活性ガスでは13Paまで測定可能です。
注4）MG-2WFは、標準MG-2と比べ測定下限値が1桁高い値となります。

外形寸法図

各種フランジ取り付け例

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